Индиум калај оксид (индиум калај оксид, познат како ITO) е широк енергетски јаз, силно допиран n-тип полупроводнички материјал, со висока пропустливост на видлива светлина и ниска отпорност, и затоа е широко користен во соларни ќелии, рамни екрани, електрохромни прозорци, неоргански и органски тенки филмови со електролуминисценција, ласерски диоди и ултравиолетови детектори и други фотоволтаични уреди итн. Постојат многу методи за подготовка на ITO филмови, вклучувајќи пулсно ласерско таложење, распрскување, хемиско таложење со пареа, термичко распаѓање со распрскување, сол-гел, испарување итн. Меѓу методите на испарување, најчесто се користи испарување со електронски зрак.
Постојат многу начини за подготовка на ITO филм, вклучувајќи пулсно ласерско таложење, распрскување, хемиско таложење со пареа, прскање со пиролиза, сол-гел, испарување и така натаму, од кои најчесто користениот метод на испарување е испарување со електронски зрак. Подготовката на ITO филмови со испарување обично има два начина: едниот е употреба на легура In, Sn со висока чистота како изворен материјал, во кислородна атмосфера за реактивно испарување; вториот е употреба на мешавина In2O3:, SnO2 со висока чистота како изворен материјал за директно испарување. За да се направи филм со висока пропустливост и ниска отпорност, генерално е потребна повисока температура на подлогата или потреба од последователно жарење на филмот. Х.Р. Фалах и сор. го користеле методот на испарување со електронски зрак на ниски температури за да таложат тенки ITO филмови, за да го проучат ефектот на брзината на таложење, температурата на жарење и другите процесни параметри врз структурата на филмот, електричните и оптичките својства. Тие истакнаа дека намалувањето на брзината на таложење може да ја зголеми пропустливоста и да ја намали отпорноста на филмовите одгледувани на ниска температура. Преносливоста на видливата светлина е повеќе од 92%, а отпорноста е 7X10-4Ωcm. Тие ги жареа ITO филмовите одгледувани на собна температура на 350~550℃ и открија дека колку е повисока температурата на жарење, толку е подобра кристалната карактеристика на ITO филмовите. Преносливоста на видливата светлина на филмовите по жарењето на 550℃ е 93%, а големината на зрната е околу 37nm. Методот со помош на плазма може да ја намали и температурата на подлогата за време на формирањето на филмот, што е најважниот фактор во формирањето на филмот, а кристалноста е исто така најважна. Методот со помош на плазма може да ја намали и температурата на подлогата за време на формирањето на филмот, а ITO филмот добиен од таложењето има добри перформанси. Отпорноста на ITO филмот подготвена од С. Лаукс и др. е многу ниска, 5*10-”Ωcm, а апсорпцијата на светлина на 550nm е помала од 5%, а отпорноста на филмот и оптичкиот пропусен опсег исто така се менуваат со промена на притисокот на кислородот за време на таложењето.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 23 март 2024 година