1. Hollow cathode katote mihini paninga me te waea wera arc katote mihini paninga
Ko te pu cathode hollow me te pu waea wera wera kua whakauruhia ki runga o te ruuma paninga, ka whakauruhia te anode ki raro, ka whakauruhia nga coils electromagnetic ki runga me raro o te taha o te ruuma paninga. Ka rere te irahiko marama a Arc mai i runga ki raro ki te mahi i nga nekehanga raina torino.
2. Aukume tuturu me te mana hiko o te puna pewa cathode porohita iti
Ko te hiko hiko e whakatere ana i te waahi arc ki te mahi i nga nekehanga hurihuri i roto i te porowhita o te whaainga, ka whakaiti i te wa noho o te waahi arc i runga i te mata o te whaainga, ka whakaheke i te waahi o te puna rewa me te whakamahine i te whakahaere paparanga kiriata.
3.Dual electromagnetic mana cathodic arc puna
Ko te puna arc cathodic he mea rite ki nga coils electromagnetic e rua, e whakapai ake ana i te tere hurihuri o te rere irahiko me te whakamahine i te whakahaere paparanga kiriata.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
E rua nga piira hiko e whakauruhia ana ki waho o te ruuma whakakikorua DC PECVD kia huri ai nga irahiko, ka nui ake te tupono o te tukinga i waenga i nga irahiko me te hau, me te whakapai ake i te tere wehenga o nga matūriki i roto i te paparanga kiriata.
5.ECR Microwave PECVD
I roto i te ruma paninga waho te tāuta i te runga, me te raro ki te rua coils electromagnetic, Ka taea e te whakapai ake i te auau dissociation.
6.Arc Light Discharge PECVD
I roto i te arc tuku PECVD taputapu paninga ruma huri noa te runga me te raro tāutanga o rua coils electromagnetic, waipara o taimana kiriata, te mara hiko coaxial taea te takahuri rere irahiko pewa ki te whakaongaonga i te hau ionization o waiwaro.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Oketopa-24-2023