1. Dobas katoda jonu pārklāšanas mašīna un karstās stieples loka jonu pārklāšanas mašīna
Dobā katoda lielgabals un karstās stieples loka lielgabals ir uzstādīti pārklāšanas kameras augšpusē, anods ir uzstādīts apakšā, un divas elektromagnētiskās spoles ir uzstādītas pārklāšanas kameras perifērijas augšpusē un apakšā. Loka gaismas elektroni plūst no augšas uz leju, veicot spirālveida līnijas kustību.
2. Pastāvīgais magnēts plus mazā apļveida katoda loka avota elektromagnētiskā vadība
Elektromagnētiskā spole paātrina loka punktu, lai tas veiktu rotācijas kustību mērķa perimetrā, kas samazina loka punkta uzturēšanās laiku uz mērķa virsmas, samazina izkusušā loka laukumu un uzlabo plēves slāņa organizāciju.
3. Divkāršs elektromagnētiskās vadības katoda loka avots
Katodiskā loka avots ir aprīkots ar divām elektromagnētiskām spolēm, kas uzlabo elektronu plūsmas rotācijas ātrumu un pilnveido plēves slāņa organizāciju.
4.Magnetrona ciklotrons PECVD
Ārpus DC PECVD pārklājuma kameras ir uzstādītas divas elektromagnētiskās spoles, lai elektroni rotētu, kas palielina elektronu un gāzes sadursmes varbūtību un uzlabo daļiņu disociācijas ātrumu plēves slānī.
5. ECR mikroviļņu PECVD
Pārklājuma kamerā ārpusē, augšējā un apakšējā daļā ir uzstādītas divas elektromagnētiskās spoles, kas var uzlabot disociācijas ātrumu.
6. Loka gaismas izlāde PECVD
Loka izlādes PECVD iekārtas pārklāšanas kamerā ap divu elektromagnētisko spoļu augšējo un apakšējo uzstādīšanu, dimanta plēves nogulsnēšanu, koaksiālo elektromagnētisko lauku var pagriezt loka elektronu plūsmu, lai stimulētu ogļūdeņražu gāzes jonizāciju.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 24. oktobris