1. Tuščiavidurio katodo jonų dengimo mašina ir karšto vielos lanko jonų dengimo mašina
Tuščiaviduris katodas ir karštos vielos lankinis pistoletas sumontuoti dengimo kameros viršuje, anodas – apačioje, o dvi elektromagnetinės ritės – dengimo kameros periferijos viršuje ir apačioje. Lanko šviesos elektronai juda iš viršaus į apačią spiralės formos judesiu.
2. Nuolatinis magnetas ir mažo apskrito katodo lanko šaltinio elektromagnetinis valdymas
Elektromagnetinė ritė pagreitina lanko tašką, kad jis sukasi aplink taikinio perimetrą, o tai sumažina lanko taško buvimo laiką taikinio paviršiuje, sumažina išlydyto metalo plotą ir pagerina plėvelės sluoksnio struktūrą.
3. Dvigubas elektromagnetinio valdymo katodinio lanko šaltinis
Katodinio lanko šaltinis turi dvi elektromagnetines rites, kurios pagerina elektronų srauto sukimosi greitį ir patobulina plėvelės sluoksnio struktūrą.
4. Magnetroninis ciklotronas PECVD
Už DC PECVD dengimo kameros ribų sumontuotos dvi elektromagnetinės ritės, kurios priverčia elektronus suktis, o tai padidina elektronų ir dujų susidūrimo tikimybę ir pagerina dalelių disociacijos greitį plėvelės sluoksnyje.
5. ECR mikrobangų PECVD
Dengimo kameroje, esančioje už viršutinės ir apatinės dalių su dviem elektromagnetinėmis ritėmis, galima pagerinti disociacijos greitį.
6. Lanko šviesos išlydis PECVD
Lankinio išlydžio PECVD įrangos dengimo kameroje aplink viršutinę ir apatinę dviejų elektromagnetinių ričių montavimą, deimantinės plėvelės nusodinimą, koaksialinis elektromagnetinis laukas gali sukti lanko elektronų srautą, kad būtų stimuliuojama angliavandenilių dujų jonizacija.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. spalio 24 d.