1. ເຄື່ອງເຄືອບ cathode ion ເປັນຮູແລະເຄື່ອງເຄືອບເສັ້ນລວດຮ້ອນ arc ion
ປືນ cathode ເປັນຮູແລະປືນ arc ສາຍຮ້ອນໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງສຸດຂອງສະພາການເຄືອບ, anode ໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ທາງລຸ່ມ, ແລະສອງທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ດ້ານເທິງແລະດ້ານລຸ່ມຂອງຫ້ອງເຄືອບ. Arc ແສງສະຫວ່າງເອເລັກໂຕຣນິກໄຫຼຈາກເທິງຫາລຸ່ມເພື່ອເຮັດການເຄື່ອນໄຫວເສັ້ນກ້ຽວວຽນ.
2. ການສະກົດຈິດຖາວອນບວກກັບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າຂອງແຫຼ່ງ arc cathode ວົງມົນຂະຫນາດນ້ອຍ
ທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າເລັ່ງຈຸດ arc ເພື່ອເຮັດການເຄື່ອນໄຫວ rotary ໃນ circumference ຂອງເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວ, ເຊິ່ງຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ຢູ່ອາໄສຂອງຈຸດ arc ເທິງຫນ້າດິນເປົ້າຫມາຍ, ຫຼຸດລົງພື້ນທີ່ຂອງສະນຸກເກີ molten ແລະປັບປຸງອົງການຈັດຕັ້ງຊັ້ນຮູບເງົາ.
3.Dual ການຄວບຄຸມໄຟຟ້າ cathodic arc ແຫຼ່ງ
ແຫຼ່ງ cathodic arc ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີສອງທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ເຊິ່ງປັບປຸງຄວາມໄວຫມຸນຂອງການໄຫຼຂອງເອເລັກໂຕຣນິກແລະປັບປຸງອົງການຈັດຕັ້ງຊັ້ນຮູບເງົາ.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
ສອງທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ນອກຫ້ອງເຄືອບ DC PECVD ເພື່ອເຮັດໃຫ້ເອເລັກໂຕຣນິກຫມຸນ, ເຊິ່ງເພີ່ມຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການຂັດກັນລະຫວ່າງເອເລັກໂຕຣນິກແລະອາຍແກັສ, ແລະປັບປຸງອັດຕາການແຕກແຍກຂອງອະນຸພາກໃນຊັ້ນຟິມ.
5.ECR ໄມໂຄເວຟ PECVD
ຢູ່ໃນສະພາການເຄືອບຢູ່ນອກການຕິດຕັ້ງເທິງແລະຕ່ໍາທີ່ມີສອງທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ສາມາດປັບປຸງອັດຕາການ dissociation.
6.Arc Light Discharge PECVD
ໃນ arc discharge PECVD ສະພາການການເຄືອບອຸປະກອນປະມານເທິງແລະຕ່ໍາການຕິດຕັ້ງຂອງສອງ coils ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, deposition ຂອງຮູບເງົາເພັດ, ພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ coaxial ສາມາດຫມຸນ arc ເອເລັກໂຕຣນິກການໄຫຼເຂົ້າກະຕຸ້ນການ ionization ອາຍແກັສຂອງ hydrocarbons.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: ຕຸລາ 24-2023