1. Maschinn fir d'Beschichtung vu Hohlkathodenionen an d'Beschichtung vu waarme Drotbogenionen
Déi huel Kathodenpistoul an d'Heissdrot-Bougenpistoul sinn uewen an der Beschichtungskammer installéiert, d'Anode ass ënnen installéiert, an zwou elektromagnetesch Spulen sinn uewen an ënnen um Peripherie vun der Beschichtungskammer installéiert. D'Elektrone vum Bouflëss fléissen vun uewen no ënnen fir eng spiralfërmeg Linnbewegung ze maachen.
2. Permanentmagnet plus elektromagnetesch Kontroll vun der klenger kreesfërmeger Kathodenbouquell
Déi elektromagnetesch Spul beschleunegt de Boufleck, fir eng rotativ Bewegung am Ëmfang vum Zil auszeféieren, wat d'Openthaltszäit vum Boufleck op der Ziluewerfläch reduzéiert, d'Fläch vum Schmelzbad reduzéiert an d'Organisatioun vun der Filmschicht verfeinert.
3. Duebel elektromagnetesch Kontroll kathodesch Bouquell
Déi kathodesch Bouquell ass mat zwou elektromagnetesche Spulen ausgestatt, wat d'Rotatiounsgeschwindegkeet vum Elektronefloss verbessert an d'Organisatioun vun der Filmschicht verfeinert.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Zwee elektromagnetesch Spule sinn ausserhalb vun der DC PECVD Beschichtungskammer installéiert, fir d'Elektronen ze rotéieren, wat d'Wahrscheinlechkeet vun enger Kollisioun tëscht den Elektronen an dem Gas erhéicht an d'Dissoziatiounsquote vun de Partikelen an der Filmschicht verbessert.
5.ECR Mikrowell PECVD
An der Beschichtungskammer ausserhalb vum installéierten ieweschten an ënneschten Deel mat zwou elektromagnetesche Spulen, kann d'Dissoziatiounsquote verbessert ginn.
6. Boulichtentladung PECVD
An der Beschichtungskammer vum PECVD-Ausrüstung fir d'Bogentladung ginn zwou elektromagnetesch Spulen ëm déi iewescht an ënnescht Installatioun ofgesat, wou en Diamantfilm ofgeluecht gëtt. De koaxiale elektromagnetesche Feld kann duerch de Bouelektronenstroum gedréit ginn, fir d'Ioniséierung vu Kuelewaasserstoffer am Gas ze stimuléieren.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 24. Oktober 2023