1. Hollow катод ион каптоо машина жана ысык зым жаасы ион каптоо машина
Каптоо камерасынын үстүнкү бөлүгүнө көңдөй катоддук пистолет жана ысык зым догасы орнотулган, анод ылдый жагына, эки электромагниттик катушка каптоо камерасынын перифериясынын үстүнкү жана ылдый жагына орнотулган. Спиралдык сызык кыймылын жасоо үчүн жаа жарык электрондору жогорудан ылдыйга агып барат.
2. Туруктуу магнит плюс кичинекей тегерек катод жаасы булагы электромагниттик башкаруу
Электромагниттик катушка бутанын айланасында айлануу кыймылын жасоо үчүн жаа такты тездетет, бул максаттуу бетинде жаа тактын жашоо убактысын азайтат, эриген бассейндин аянтын азайтат жана пленка катмарын уюштурууну жакшыртат.
3.Dual электромагниттик башкаруу катоддук жаасы булагы
Катоддук жаа булагы эки электромагниттик катушкалар менен жабдылган, бул электрон агымынын айлануу ылдамдыгын жакшыртат жана пленка катмарын уюштурууну жакшыртат.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Эки электромагниттик катушкалар DC PECVD каптоочу камеранын сыртына орнотулган, электрондорду айлантышат, бул электрондор менен газдын кагылышуу ыктымалдыгын жогорулатат жана пленка катмарындагы бөлүкчөлөрдүн диссоциациялануу ылдамдыгын жакшыртат.
5.ECR Microwave PECVD
Эки электромагниттик катушкалар менен үстүнкү жана төмөнкү орнотулган сырткы каптоо камерасында диссоциациянын ылдамдыгын жакшыртат.
6.Arc Light разряд PECVD
эки электромагниттик катушкалар жогорку жана төмөнкү орнотуу айланасында PECVD жабдык каптоо камеранын жаасы разрядында, алмаз пленкасынын чөктүрүлүшү, коаксиалдык электромагниттик талаа көмүртектердин газ иондоштурууну стимулдаштыруу үчүн жаа электрон агымын айлантса болот.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 24-окт.2023