1. Makîneya pêçandina îyonê ya katoda vala û makîneya pêçandina îyonê ya arka têla germ
Topa katodê ya vala û topa kevanê ya têla germ li jorê odeya pêçandinê, anodê li jêr û du bobînên elektromagnetîk li jor û jêrê derdora odeya pêçandinê hatine sazkirin. Ronahiya kevanê elektronan ji jor ber bi jêr ve diherike da ku tevgera xêza spiral bike.
2. Kontrola magnetîsî ya daîmî û elektromagnetîk a çavkaniya arka katodê ya dorhêl a piçûk
Kelefa elektromagnetîk xala kevanê lez dike da ku di çarçoveya hedefê de tevgera zivirî bike, ku ev jî dema mayîna xala kevanê li ser rûyê hedefê kêm dike, rûbera hewza helandî kêm dike û rêxistina çîna fîlmê baştir dike.
3. Çavkaniya arcê katodîk a kontrola elektromagnetîk a dualî
Çavkaniya arka katodîk bi du bobînên elektromanyetîk ve hatî çêkirin, ku leza zivirîna herikîna elektronan baştir dike û rêxistina qata fîlmê safî dike.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Du bobînên elektromanyetîk li derveyî odeya pêçandina DC PECVD hatine sazkirin da ku elektron bizivirin, ku ev yek îhtîmala pevçûna di navbera elektron û gazê de zêde dike, û rêjeya veqetandina perçeyan di qata fîlmê de baştir dike.
5.ECR Mîkropêl PECVD
Di odeya pêçandinê ya li derveyî de, du bobînên elektromagnetîk li jor û jêr hatine sazkirin, da ku rêjeya veqetandinê baştir bibe.
6. Belavkirina Ronahiya Kevanê PECVD
Di odeya pêçandina alavên PECVD ya dakêşana arkê de li dora sazkirina jorîn û jêrîn a du bobînên elektromanyetîk, danîna fîlima elmasê, zeviya elektromanyetîk a koaksiyal dikare were zivirandin herikîna elektrona arkê da ku îyonîzasyona gazê ya hîdrokarbonan teşwîq bike.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 24ê Cotmeha 2023an