1. 중공음극 이온코팅기 및 열선아크 이온코팅기
중공 음극 건과 열선 아크 건은 코팅 챔버 상단에 설치되고, 양극은 하단에 설치되며, 두 개의 전자기 코일은 코팅 챔버 주변 상단과 하단에 설치됩니다. 아크 광 전자는 상단에서 하단으로 흐르면서 나선형 운동을 합니다.
2. 소형 원형 음극 아크 소스의 영구 자석 및 전자기 제어
전자기 코일은 아크 스팟을 가속하여 타겟의 원주를 따라 회전 운동을 하게 되며, 이는 타겟 표면에서 아크 스팟의 체류 시간을 줄이고, 용융 풀의 면적을 줄이며, 필름 층 조직을 미세화합니다.
3. 이중 전자기 제어 음극 아크 소스
음극 아크 소스에는 전자기 코일 2개가 장착되어 있어 전자 흐름의 회전 속도를 향상시키고 필름 층 조직을 미세화합니다.
4. 마그네트론 사이클로트론 PECVD
DC PECVD 코팅 챔버 외부에 두 개의 전자기 코일을 설치하여 전자를 회전시키고, 이를 통해 전자와 가스의 충돌 확률이 높아지고, 필름층 내 입자의 해리 속도가 향상됩니다.
5.ECR 마이크로파 PECVD
코팅 챔버 외부에 상하로 두 개의 전자기 코일을 설치하여 해리 속도를 향상시킬 수 있습니다.
6. 아크 광 방전 PECVD
아크방전 PECVD장비 코팅 챔버의 상하부에는 두 개의 전자기 코일이 설치되어 다이아몬드 박막을 증착하고, 동축 전자기장을 회전시켜 아크 전자 흐름을 활성화시켜 탄화수소의 가스 이온화를 촉진합니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2023년 10월 24일