ಏಕಾಕ್ಷ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರ ಪ್ರಕಾರದ ಅಯಾನು ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ

1. ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹಾಟ್ ವೈರ್ ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ

ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯ ಮೇಲ್ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಗನ್ ಮತ್ತು ಹಾಟ್ ವೈರ್ ಆರ್ಕ್ ಗನ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ, ಕೆಳಭಾಗದಲ್ಲಿ ಆನೋಡ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯ ಪರಿಧಿಯ ಮೇಲ್ಭಾಗ ಮತ್ತು ಕೆಳಭಾಗದಲ್ಲಿ ಎರಡು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸುರುಳಿಯಾಕಾರದ ರೇಖೆಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ಮಾಡಲು ಆರ್ಕ್ ಲೈಟ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಮೇಲಿನಿಂದ ಕೆಳಕ್ಕೆ ಹರಿಯುತ್ತದೆ.

2. ಸಣ್ಣ ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲದ ಶಾಶ್ವತ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ ಜೊತೆಗೆ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ನಿಯಂತ್ರಣ

ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಯು ಗುರಿಯ ಸುತ್ತಳತೆಯಲ್ಲಿ ರೋಟರಿ ಚಲನೆಯನ್ನು ಮಾಡಲು ಆರ್ಕ್ ಸ್ಪಾಟ್ ಅನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಗುರಿ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಆರ್ಕ್ ಸ್ಪಾಟ್ನ ನಿವಾಸ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಕರಗಿದ ಪೂಲ್ನ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಸಂಘಟನೆಯನ್ನು ಪರಿಷ್ಕರಿಸುತ್ತದೆ.

3.ಡ್ಯುಯಲ್ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಕ್ಯಾಥೋಡಿಕ್ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲ

ಕ್ಯಾಥೋಡಿಕ್ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲವು ಎರಡು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಇದು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಹರಿವಿನ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ವೇಗವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಸಂಘಟನೆಯನ್ನು ಪರಿಷ್ಕರಿಸುತ್ತದೆ.

4.ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸೈಕ್ಲೋಟ್ರಾನ್ PECVD

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ತಿರುಗುವಂತೆ ಮಾಡಲು DC PECVD ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯ ಹೊರಗೆ ಎರಡು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅನಿಲದ ನಡುವಿನ ಘರ್ಷಣೆಯ ಸಂಭವನೀಯತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದಲ್ಲಿನ ಕಣಗಳ ವಿಘಟನೆಯ ದರವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

5.ಇಸಿಆರ್ ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಪಿಇಸಿವಿಡಿ

ಹೊರಗಿನ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಎರಡು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಮೇಲ್ಭಾಗ ಮತ್ತು ಕೆಳಭಾಗವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ, ವಿಘಟನೆಯ ದರವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

6.ಆರ್ಕ್ ಲೈಟ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ PECVD

ಎರಡು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಸುರುಳಿಗಳ ಮೇಲಿನ ಮತ್ತು ಕೆಳಗಿನ ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯ ಸುತ್ತಲಿನ ಆರ್ಕ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ PECVD ಉಪಕರಣದ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ, ವಜ್ರದ ಚಿತ್ರದ ಶೇಖರಣೆ, ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್‌ಗಳ ಅನಿಲ ಅಯಾನೀಕರಣವನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸಲು ಏಕಾಕ್ಷ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಚಾಪ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಹರಿವನ್ನು ತಿರುಗಿಸಬಹುದು.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ