1. ម៉ាស៊ីនស្រោបអ៊ីយ៉ុង cathode ប្រហោង និងម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងខ្សែភ្លើងក្តៅ
កាំភ្លើង cathode ប្រហោង និងកាំភ្លើងធ្នូលួសក្តៅត្រូវបានតំឡើងនៅផ្នែកខាងលើនៃអង្គជំនុំជម្រះថ្នាំកូត អេណូតត្រូវបានតំឡើងនៅខាងក្រោម ហើយឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរត្រូវបានតំឡើងនៅផ្នែកខាងលើ និងខាងក្រោមនៃបរិវេណបន្ទប់ថ្នាំកូត។ អេឡិចត្រុងពន្លឺអាក់ហូរពីកំពូលទៅបាតដើម្បីធ្វើចលនាបន្ទាត់វង់។
2. មេដែកអចិន្ត្រៃយ៍បូកនឹងអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៃប្រភពធ្នូ cathode រាងជារង្វង់តូច
ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកបង្កើនល្បឿនចំណុចធ្នូដើម្បីធ្វើចលនាបង្វិលនៅក្នុងរង្វង់នៃគោលដៅដែលកាត់បន្ថយពេលវេលានៃការស្នាក់នៅនៃចំណុចធ្នូនៅលើផ្ទៃគោលដៅកាត់បន្ថយតំបន់នៃអាងរលាយនិងកែលម្អអង្គការស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
3.Dual electromagnetic control source cathodic arc ប្រភព
ប្រភពធ្នូ cathodic ត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវល្បឿនបង្វិលនៃលំហូរអេឡិចត្រុងនិងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអង្គការស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
4.Magnetron Cyclotron PECVD
ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរត្រូវបានតំឡើងនៅខាងក្រៅអង្គជំនុំជម្រះថ្នាំកូត DC PECVD ដើម្បីធ្វើឱ្យអេឡិចត្រុងបង្វិល ដែលបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចរវាងអេឡិចត្រុង និងឧស្ម័ន និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាបំបែកនៃភាគល្អិតនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
5.ECR មីក្រូវ៉េវ PECVD
នៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបខាងក្រៅ ផ្នែកខាងលើ និងខាងក្រោមដែលបានដំឡើងជាមួយនឹងឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរ អាចធ្វើអោយអត្រានៃការបែកគ្នាប្រសើរឡើង។
6.Arc Light Discharge PECVD
នៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបគ្រឿងបរិក្ខារ PECVD នៃធ្នូជុំវិញការដំឡើងខាងលើ និងខាងក្រោមនៃឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកពីរ ការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ វាលអេឡិចត្រូ coaxial អាចត្រូវបានបង្វិលលំហូរអេឡិចត្រុងធ្នូ ដើម្បីជំរុញការបញ្ចេញឧស្ម័នអ៊ីដ្រូកាបូន។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៤ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៣