1. Қуыс катодты ионды жабу машинасы және ыстық сым доғалы ионды жабу машинасы
Қаптау камерасының жоғарғы жағында қуыс катодты пистолет және ыстық сым доғалы пистолетті, төменгі жағында анод орнатылады, жабын камерасының шеткі бөлігінің жоғарғы және төменгі жағында екі электромагниттік катушкалар орнатылады. Спиральды сызық қозғалысын жасау үшін доғалық жарық электроны жоғарыдан төменге қарай ағып жатыр.
2. Тұрақты магнит плюс шағын дөңгелек катодты доға көзін электромагниттік басқару
Электромагниттік катушкалар нысананың шеңбері бойынша айналмалы қозғалысты орындау үшін доға орнын жылдамдатады, бұл доғалық нүктенің нысана бетінде тұру уақытын азайтады, балқытылған бассейннің ауданын азайтады және пленка қабатының ұйымын нақтылайды.
3. Қос электромагниттік басқару катодтық доға көзі
Катодтық доға көзі екі электромагниттік катушкалармен жабдықталған, бұл электрон ағынының айналу жылдамдығын жақсартады және пленка қабатының ұйымын нақтылайды.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Электрондардың айналуын қамтамасыз ету үшін DC PECVD жабын камерасының сыртында екі электромагниттік катушкалар орнатылған, бұл электрондар мен газдың соқтығысу ықтималдығын арттырады және пленка қабатындағы бөлшектердің диссоциациялану жылдамдығын жақсартады.
5.ECR микротолқынды пеш PECVD
Екі электромагниттік катушкалар орнатылған жоғарғы және төменгі жабын камерасының сыртында диссоциация жылдамдығын жақсарта алады.
6.Доғалық жарық разряды PECVD
Доғалық разрядты PECVD жабдығын жабу камерасында екі электромагниттік катушкалардың жоғарғы және төменгі қондырғысы, алмаз пленкасының тұндыру, коаксиалды электромагниттік өріс көмірсутектердің газ ионизациясын ынталандыру үшін доғалық электрон ағынын айналдыруға болады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 24 қазан 2023 ж