კოაქსიალური ელექტრომაგნიტური ველის ტიპის იონური საფარის მანქანა

1. ღრუ კათოდური იონური საფარის მანქანა და ცხელი მავთულის რკალური იონური საფარის მანქანა

ღრუ კათოდური ქვემეხი და ცხელი მავთულის რკალური ქვემეხი დამონტაჟებულია საფარის კამერის ზედა ნაწილში, ანოდი დამონტაჟებულია ქვედა ნაწილში, ხოლო ორი ელექტრომაგნიტური ხვეული დამონტაჟებულია საფარის კამერის პერიფერიის ზედა და ქვედა ნაწილში. რკალური სინათლის ელექტრონები მიედინება ზემოდან ქვედა მიმართულებით სპირალური ხაზოვანი მოძრაობის შესასრულებლად.

2. მცირე წრიული კათოდური რკალის წყაროს მუდმივი მაგნიტი პლუს ელექტრომაგნიტური კონტროლი

ელექტრომაგნიტური ხვეული აჩქარებს რკალურ წერტილს სამიზნის გარშემოწერილობის გასწვრივ ბრუნვითი მოძრაობის შესასრულებლად, რაც ამცირებს რკალური წერტილის სამიზნის ზედაპირზე დარჩენის დროს, ამცირებს გამდნარი სითხის ფართობს და აუმჯობესებს ფირის ფენის ორგანიზებას.

3. ორმაგი ელექტრომაგნიტური მართვის კათოდური რკალის წყარო

კათოდური რკალის წყარო აღჭურვილია ორი ელექტრომაგნიტური ხვეულით, რაც აუმჯობესებს ელექტრონული ნაკადის ბრუნვის სიჩქარეს და აუმჯობესებს ფირის ფენის ორგანიზებას.

4. მაგნეტრონული ციკლოტრონული PECVD

DC PECVD საფარის კამერის გარეთ დამონტაჟებულია ორი ელექტრომაგნიტური ხვეული, რათა ელექტრონები ბრუნავდნენ, რაც ზრდის ელექტრონებსა და გაზს შორის შეჯახების ალბათობას და აუმჯობესებს ფირის ფენაში ნაწილაკების დისოციაციის სიჩქარეს.

5. ECR მიკროტალღური PECVD

საფარის კამერის გარეთ, ზედა და ქვედა ნაწილებში დამონტაჟებულია ორი ელექტრომაგნიტური ხვეული, რამაც შეიძლება გააუმჯობესოს დისოციაციის სიჩქარე.

6. რკალური სინათლის განმუხტვის PECVD

რკალური განმუხტვის PECVD აღჭურვილობის საფარის კამერებში ზედა და ქვედა ნაწილების გარშემო დამონტაჟებულია ორი ელექტრომაგნიტური ხვეული, სადაც ილექება ბრილიანტის ფენა, კოაქსიალური ელექტრომაგნიტური ველის მეშვეობით შესაძლებელია რკალური ელექტრონული ნაკადის ბრუნვა ნახშირწყალბადების გაზის იონიზაციის სტიმულირებისთვის.

- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა