1. Mesin lapisan ion katoda berongga lan mesin lapisan ion busur kawat panas
Gun cathode kothong lan gun busur kabel panas dipasang ing ndhuwur kamar nutupi, anode dipasang ing ngisor, lan loro kumparan elektromagnetik dipasang ing ndhuwur lan ngisor periphery kamar nutupi. Arc cahya elektron mili saka ndhuwur menyang ngisor kanggo nindakake gerakan garis spiral.
2. magnet permanen plus kontrol elektromagnetik saka busur cathode bunder cilik sumber
Koil elektromagnetik nyepetake titik busur kanggo nindakake gerakan Rotary ing circumference target, sing nyuda wektu panggonan titik busur ing permukaan target, nyuda area blumbang molten lan nyaring organisasi lapisan film.
3. Dual kontrol elektromagnetik sumber busur katodik
Sumber busur katodik dilengkapi karo rong gulungan elektromagnetik, sing nambah kecepatan rotasi aliran elektron lan nyaring organisasi lapisan film.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Rong gulungan elektromagnetik dipasang ing njaba ruangan lapisan PECVD DC kanggo nggawe elektron muter, sing nambah kemungkinan tabrakan antarane elektron lan gas, lan nambah tingkat disosiasi partikel ing lapisan film.
5. ECR Microwave PECVD
Ing kamar nutupi njaba dipasang ndhuwur lan ngisor karo loro gulungan kawat elektromagnetik, bisa nambah tingkat disosiasi.
6. Busur Cahya Discharge PECVD
Ing busur discharge PECVD kamar nutupi peralatan sak instalasi ndhuwur lan ngisor saka loro gulungan kawat elektromagnetik, deposition saka film berlian, kolom elektromagnetik coaxial bisa diputer aliran elektron busur kanggo ngrangsang ionisasi gas saka hidrokarbon.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Oct-24-2023