מכונת ציפוי יונים מסוג שדה אלקטרומגנטי קואקסיאלי

1. מכונת ציפוי יוני קתודה חלולים ומכונת ציפוי יוני קשת חוט חם

אקדח הקתודה החלולה ואקדח הקשת החמה מותקנים בחלק העליון של תא הציפוי, האנודה מותקנת בתחתית, ושני סלילים אלקטרומגנטיים מותקנים בחלק העליון והתחתון של היקף תא הציפוי. אור הקשת זורם מלמעלה למטה כדי לבצע תנועה ספירלית.

2. מגנט קבוע בתוספת בקרה אלקטרומגנטית של מקור קשת הקתודה המעגלית הקטנה

הסליל האלקטרומגנטי מאיץ את נקודת הקשת לביצוע תנועה סיבובית בהיקף המטרה, מה שמפחית את זמן השהייה של נקודת הקשת על פני המטרה, מקטין את שטח בריכת המותך ומשפר את ארגון שכבת הסרט.

3. מקור קשת קתודי עם בקרה אלקטרומגנטית כפולה

מקור הקשת הקתודית מצויד בשני סלילים אלקטרומגנטיים, אשר משפרים את מהירות הסיבוב של זרימת האלקטרונים ומשפרים את ארגון שכבת הסרט.

4. מגנטרון ציקלוטרון PECVD

שני סלילים אלקטרומגנטיים מותקנים מחוץ לתא ציפוי DC PECVD כדי לגרום לאלקטרונים להסתובב, מה שמגדיל את הסבירות להתנגשות בין האלקטרונים לגז, ומשפר את קצב הדיסוציאציה של החלקיקים בשכבת הסרט.

5. מיקרוגל ECR PECVD

בתא הציפוי מחוץ לגוף המותקן העליון והתחתון עם שני סלילים אלקטרומגנטיים, ניתן לשפר את קצב הדיסוציאציה.

6. פריקת אור קשת PECVD

בתא ציפוי ציוד PECVD של פריקת קשת סביב ההתקנה העליונה והתחתונה של שני סלילים אלקטרומגנטיים, שקיעת סרט יהלום, ניתן לסובב את השדה האלקטרומגנטי הקואקסיאלי של זרימת אלקטרונים בקשת כדי לעורר את יינון הפחמימנים בגז.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה