Il processo di rivestimento ionico a catodo cavo è il seguente:
1. Mettere i lingotti Chin nel crollo.
2. Montaggio del pezzo in lavorazione.
3. Dopo aver evacuato a 5×10-3Pa, il gas argon viene introdotto nella camera di rivestimento dal tubo d'argento e il livello del vuoto è di circa 100Pa.
4. Attivare l'alimentazione di polarizzazione.
5. Dopo aver acceso l'alimentazione dell'arco per accendere la scarica a catodo cavo. La scarica luminescente viene generata nel tubo a bottone, la tensione di scarica è 800~1000 V, la corrente di innalzamento dell'arco è 30~50 A. A causa dell'effetto catodo cavo della scarica luminescente, l'elevata densità di corrente di scarica luminescente, l'alta densità di ioni di ratto nel tubo d'argento bombarda la parete del tubo di vantaggio, fa sì che la parete del tubo si riscaldi rapidamente all'emissione del flusso di elettroni, la modalità di scarica dalla scarica luminescente cambia improvvisamente in scarica ad arco, la tensione è 40~70 V, la corrente è 80~300 A. La temperatura del tubo d'argento raggiunge i 2300 K, Incandescente, emette un flusso ad alta densità di elettroni dell'arco dal tubo e spara all'anodo.
6. Regolazione del livello di vuoto. Il livello di vuoto per la scarica luminescente dalla pistola a catodo cavo è di circa 100 Pa e il grado di vuoto del rivestimento è 8×10-1~2Pa. Pertanto, dopo l'accensione della scarica ad arco, ridurre il gas argon in ingresso il prima possibile e regolare il livello di vuoto su un intervallo adatto al rivestimento.
7. Strato di base placcato in titanio. Flusso di elettroni sul lingotto di metallo Chin collassato anodicamente, conversione dell'energia cinetica in energia termica, evaporazione del metallo Chin tramite riscaldamento, gli atomi di vapore raggiungono il pezzo in lavorazione per formare una pellicola di titanio.
8、Deposizione di TiN. L'azoto gassoso viene immesso nella camera di rivestimento, l'azoto gassoso e gli atomi evaporati vengono ionizzati in ioni di azoto e titanio. Sopra il crogiolo, maggiore probabilità di collisioni anelastiche di atomi di vapore di titanio con flussi densi di elettroni a bassa energia, il tasso di dissociazione del metallo è alto quanto il 20%~40%. Gli ioni di titanio hanno maggiori probabilità di reagire chimicamente con l'azoto del gas di reazione, deposizione per ottenere uno strato di pellicola del mantello di nitruro. La pistola a catodo cavo è sia una fonte di vaporizzazione, sia un'altra fonte di ionizzazione. Durante il rivestimento, anche la corrente della bobina elettromagnetica attorno al crogiolo deve essere regolata, focalizzando il fascio di elettroni al centro del collasso, in questo modo aumenta la densità di potenza del flusso di elettroni.
9. Spegnimento. Dopo che lo spessore della pellicola raggiunge lo spessore predeterminato, spegnere l'alimentazione dell'arco, l'alimentazione di polarizzazione e l'alimentazione dell'aria.
Data di pubblicazione: 08-07-2023