1. Vél til að húða hola katóðujónir og vél til að húða heitvírbogajónir
Hol katóðubyssa og heitvírsbyssa eru sett upp efst í húðunarklefanum, anóðan er sett upp neðst og tvær rafsegulspólur eru settar upp efst og neðst á jaðri húðunarklefans. Rafeindir í boga flæða frá toppi til botns til að framkvæma spírallínuhreyfingu.
2. Varanleg segull ásamt rafsegulstýringu á litlu hringlaga katóðubogagjafanum
Rafsegulspólan flýtir fyrir bogablettinum til að framkvæma snúningshreyfingu í ummál skotmarksins, sem dregur úr dvalartíma bogablettsins á yfirborði skotmarksins, minnkar flatarmál bráðnu pollsins og betrumbætir skipulag filmulagsins.
3. Tvöföld rafsegulstýring á kaþóðboga
Katóðbogagjafinn er búinn tveimur rafsegulspólum, sem bætir snúningshraða rafeindaflæðisins og betrumbætir skipulag filmulagsins.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Tvær rafsegulspólur eru settar upp fyrir utan DC PECVD húðunarklefann til að láta rafeindirnar snúast, sem eykur líkurnar á árekstri milli rafeindanna og gassins og bætir sundrunarhraða agnanna í filmulaginu.
5.ECR örbylgjuofn PECVD
Í húðunarklefanum utan við efri og neðri hluta kerfisins eru tvær rafsegulspólur sem geta bætt sundrunarhraðann.
6. Útblástur bogaljóss PECVD
Í húðunarklefanum fyrir bogaútblásturs-PECVD búnaðinn eru tvær rafsegulspólur settar í kringum efri og neðri hluta rafsegulsviðsins. Demanturfilma er sett út og rafsegulsviðið er snúið við rafsegulsviðinu til að örva jónun kolvetna í gasinu.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 24. október 2023