1. Mesin pelapis ion katoda berongga dan mesin pelapis ion busur kawat panas
Pistol katode berongga dan pistol busur kawat panas dipasang di bagian atas ruang pelapis, anoda dipasang di bagian bawah, dan dua kumparan elektromagnetik dipasang di bagian atas dan bawah pinggiran ruang pelapis. Aliran elektron cahaya busur dari atas ke bawah untuk melakukan gerakan garis spiral.
2. Magnet permanen plus kontrol elektromagnetik dari sumber busur katoda melingkar kecil
Kumparan elektromagnetik mempercepat titik busur untuk melakukan gerakan putar di sekeliling target, yang mengurangi waktu tinggal titik busur pada permukaan target, mengurangi luas genangan cairan dan menyempurnakan organisasi lapisan film.
3.Sumber busur katoda kontrol elektromagnetik ganda
Sumber busur katoda dilengkapi dengan dua kumparan elektromagnetik, yang meningkatkan kecepatan putaran aliran elektron dan menyempurnakan organisasi lapisan film.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Dua kumparan elektromagnetik dipasang di luar ruang pelapisan PECVD DC untuk membuat elektron berputar, yang meningkatkan kemungkinan tumbukan antara elektron dan gas, dan meningkatkan laju disosiasi partikel dalam lapisan film.
5.ECR Gelombang Mikro PECVD
Pada ruang pelapis luar dipasang bagian atas dan bawah dengan dua kumparan elektromagnetik, dapat meningkatkan laju disosiasi.
6. Pelepasan Cahaya Busur PECVD
Dalam ruang pelapisan peralatan PECVD pelepasan busur di sekitar pemasangan atas dan bawah dua kumparan elektromagnetik, pengendapan film berlian, medan elektromagnetik koaksial dapat diputar aliran elektron busur untuk merangsang ionisasi gas hidrokarbon.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 24-Okt-2023