1. Խոռոչ կաթոդային իոնային ծածկույթի մեքենա և տաք մետաղալարային աղեղային իոնային ծածկույթի մեքենա
Խոռոչ կաթոդային ատրճանակը և տաք մետաղալարային աղեղային ատրճանակը տեղադրված են ծածկույթի խցիկի վերևում, անոդը տեղադրված է ներքևում, իսկ երկու էլեկտրամագնիսական կծիկներ տեղադրված են ծածկույթի խցիկի ծայրամասի վերևում և ներքևում: Աղեղային լույսի էլեկտրոնները հոսում են վերևից ներքև՝ պարուրաձև գծային շարժում կատարելու համար:
2. Փոքր շրջանաձև կաթոդային աղեղի աղբյուրի մշտական մագնիս և էլեկտրամագնիսական կառավարում
Էլեկտրամագնիսական կծիկը արագացնում է աղեղային կետը՝ թիրախի շրջագծում պտտական շարժում կատարելու համար, ինչը կրճատում է աղեղային կետի թիրախի մակերեսին մնալու ժամանակը, նվազեցնում է հալված նյութի մակերեսը և կատարելագործում թաղանթի շերտի կազմակերպումը։
3. Երկակի էլեկտրամագնիսական կառավարման կաթոդային աղեղային աղբյուր
Կաթոդային աղեղային աղբյուրը հագեցած է երկու էլեկտրամագնիսական կծիկներով, որոնք բարելավում են էլեկտրոնային հոսքի պտտման արագությունը և կատարելագործում թաղանթային շերտի կազմակերպումը։
4. Մագնետրոնային ցիկլոտրոն PECVD
DC PECVD ծածկույթային խցիկի դրսում տեղադրված են երկու էլեկտրամագնիսական կծիկներ՝ էլեկտրոնների պտտումը ստիպելու համար, ինչը մեծացնում է էլեկտրոնների և գազի միջև բախման հավանականությունը և բարելավում թաղանթային շերտում մասնիկների դիսոցիացիայի արագությունը։
5.ECR միկրոալիքային վառարան PECVD
Արտաքին ծածկույթի խցիկում վերին և ստորին մասերում տեղադրված են երկու էլեկտրամագնիսական կծիկներ, որոնք կարող են բարելավել դիսոցիացիայի արագությունը։
6. Աղեղային լույսի լիցքաթափում PECVD
PECVD սարքավորումների պատման խցիկում աղեղային պարպման վերին և ստորին մասերում տեղադրվում են երկու էլեկտրամագնիսական կծիկներ, որտեղ նստեցվում է ադամանդե թաղանթ, և կոաքսիալ էլեկտրամագնիսական դաշտը կարող է պտտվել աղեղային էլեկտրոնային հոսքով՝ ածխաջրածինների գազի իոնացումը խթանելու համար։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Հոկտեմբերի 24-2023