1. Üreges katódos ionbevonó gép és forró huzalos íves ionbevonó gép
Az üreges katódos pisztoly és a forródrótos ívhegesztő pisztoly a bevonókamra tetején, az anód az alján, két elektromágneses tekercs pedig a bevonókamra peremének tetején és alján található. Az ívfény elektronjai felülről lefelé áramlanak, spirális vonalmozgást végezve.
2. Állandó mágnes plusz elektromágneses vezérlés a kis kör alakú katódívforráson
Az elektromágneses tekercs felgyorsítja az ívfoltot, hogy az forgó mozgást végezzen a céltárgy kerületén, ami csökkenti az ívfolt tartózkodási idejét a céltárgy felületén, csökkenti az olvadékfürdő területét és finomítja a filmréteg szerveződését.
3. Kettős elektromágneses vezérlésű katódos ívforrás
A katódos ívforrás két elektromágneses tekerccsel van felszerelve, ami javítja az elektronáramlás forgási sebességét és finomítja a filmréteg szerveződését.
4. Magnetron Ciklotron PECVD
Két elektromágneses tekercs van felszerelve a DC PECVD bevonókamrán kívül, hogy az elektronokat forgatni tudják, ami növeli az elektronok és a gáz ütközésének valószínűségét, és javítja a filmrétegben lévő részecskék disszociációs sebességét.
5. ECR mikrohullámú PECVD
A bevonókamrán kívül, a felső és alsó két elektromágneses tekercs felszerelése javíthatja a disszociációs sebességet.
6. Ívkisülés PECVD
Az ívkisüléses PECVD berendezés bevonókamrájában két elektromágneses tekercs felső és alsó felszerelése, gyémántfilm lerakódása, a koaxiális elektromágneses mező forgatható ívelektronok áramlásával serkenti a szénhidrogének gázionizációját.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. október 24.