1. Machin kouch iyon katod kre ak machin kouch iyon ak fil cho
Yo enstale zam katod kre a ak zam ak fil cho a anlè chanm kouch la, yo enstale anod la anba, epi yo enstale de bobin elektwomayetik anlè ak anba periferi chanm kouch la. Elektwon limyè ak la koule soti anwo pou ale anba pou fè yon mouvman espiral.
2. Leman pèmanan plis kontwòl elektwomayetik nan ti sous ark katod sikilè a
Bobin elektwomayetik la akselere tach ark la pou l fè mouvman wotasyon nan sikonferans sib la, sa ki diminye tan rezidans tach ark la sou sifas sib la, diminye zòn pisin fonn lan epi amelyore òganizasyon kouch fim nan.
3. Doub sous ak katodik kontwòl elektwomayetik
Sous ark katodik la ekipe ak de bobin elektwomayetik, sa ki amelyore vitès wotasyon koule elektwon an epi amelyore òganizasyon kouch fim nan.
4. Magnetron Siklotron PECVD
De bobin elektwomayetik yo enstale deyò chanm kouch DC PECVD a pou fè elektwon yo Thorne, sa ki ogmante pwobabilite pou kolizyon ant elektwon yo ak gaz la, epi amelyore vitès disosyasyon patikil yo nan kouch fim nan.
5.ECR Mikwo ond PECVD
Nan chanm kouch la deyò a, enstale anwo ak anba a ak de bobin elektwomayetik, ka amelyore to disosyasyon an.
6. Egzeyat Limyè Arc PECVD
Nan chanm kouch ekipman PECVD egzeyat ark la, enstalasyon anwo ak anba de bobin elektwomayetik yo fèt pou depoze yon fim dyaman. Chanm elektwomayetik koaksyal la ka fè koule elektwon ark la vire pou ankouraje iyonizasyon gaz idrokarbur yo.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 24 Oktòb 2023