1. Stroj za ionsko premazivanje sa šupljom katodom i stroj za ionsko premazivanje vrućom žicom
Pištolj sa šupljom katodom i pištolj s vrućom žicom za zavarivanje postavljeni su na vrhu komore za premazivanje, anoda je postavljena na dnu, a dvije elektromagnetske zavojnice postavljene su na vrhu i dnu periferije komore za premazivanje. Elektroni svjetlosti luka teku od vrha prema dnu i kretaju se spiralno.
2. Permanentni magnet plus elektromagnetska kontrola malog kružnog katodnog izvora luka
Elektromagnetski svitak ubrzava lučnu točku kako bi se rotacijski kretala po obodu mete, što smanjuje vrijeme zadržavanja lučne točke na površini mete, smanjuje površinu rastaljenog sloja i poboljšava organizaciju sloja filma.
3. Dvostruki elektromagnetski kontrolni izvor katodnog luka
Katodni izvor luka opremljen je s dvije elektromagnetske zavojnice, što poboljšava brzinu rotacije protoka elektrona i poboljšava organizaciju sloja filma.
4. Magnetron Ciklotron PECVD
Dvije elektromagnetske zavojnice ugrađene su izvan DC PECVD komore za premazivanje kako bi se elektroni rotirali, što povećava vjerojatnost sudara između elektrona i plina te poboljšava brzinu disocijacije čestica u sloju filma.
5. ECR Mikrovalna PECVD
U komori za premazivanje, izvan gornjeg i donjeg dijela s dvije elektromagnetske zavojnice, može se poboljšati brzina disocijacije.
6. Pražnjenje svjetlosnog luka PECVD
U PECVD opremi za elektrolučno pražnjenje, oko gornje i donje instalacije dviju elektromagnetskih zavojnica nanosi se dijamantni film, a koaksijalno elektromagnetsko polje može rotirati protok elektrona luka kako bi se potaknula ionizacija plina ugljikovodika.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 24. listopada 2023.