1. Hollow cathode ion txheej tshuab thiab kub hlau arc ion txheej tshuab
Lub hollow cathode phom thiab kub hlau arc phom yog ntsia rau sab saum toj ntawm txheej chamber, lub anode yog ntsia rau hauv qab, thiab ob electromagnetic coils yog ntsia rau saum thiab hauv qab ntawm txheej chamber periphery. Arc lub teeb hluav taws xob ntws los ntawm sab saum toj mus rau hauv qab kom ua cov kab sib txuas.
2. Cov hlau nplaum tas mus li ntxiv rau electromagnetic tswj ntawm lub voj voog me me cathode arc qhov chaw
Lub electromagnetic coil accelerates qhov chaw arc ua rotary txav nyob rau hauv lub ncig ntawm lub hom phiaj, uas txo lub sij hawm nyob rau hauv lub arc qhov chaw ntawm lub hom phiaj nto, txo lub cheeb tsam ntawm lub pas dej ua ke molten thiab refines cov zaj duab xis txheej lub koom haum.
3.Dual electromagnetic tswj cathodic arc qhov chaw
Lub cathodic arc qhov chaw yog nruab nrog ob lub electromagnetic coils, uas txhim kho cov kev sib hloov ceev ntawm electron txaus thiab refines lub koom haum zaj duab xis txheej.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Ob lub electromagnetic coils raug ntsia sab nraum DC PECVD txheej chamber los ua kom cov electrons tig, uas ua rau muaj qhov tshwm sim ntawm kev sib tsoo ntawm cov hluav taws xob thiab cov roj, thiab txhim kho qhov sib txawv ntawm cov khoom hauv txheej zaj duab xis.
5.ECR Microwave PECVD
Nyob rau hauv lub txheej chamber sab nraum lub ntsia sab sauv thiab qis nrog ob electromagnetic coils, tuaj yeem txhim kho tus nqi dissociation.
6.Arc Lub Teeb Tawm PECVD
Nyob rau hauv lub arc tawm PECVD cov khoom txheej txheej chamber nyob ib ncig ntawm lub sab sauv thiab sab installation ntawm ob electromagnetic coils, deposition ntawm pob zeb diamond zaj duab xis, lub coaxial electromagnetic teb yuav tig arc electron txaus los txhawb cov roj ionization ntawm hydrocarbons.
– Zaj lus no yog tso tawm los ntawmtshuab nqus tsev txheej tshuab manufacturersGuangdong Zhenhua
Post lub sij hawm: Oct-24-2023