1. खोखले कैथोड आयन कोटिंग मशीन और गर्म तार चाप आयन कोटिंग मशीन
खोखले कैथोड गन और हॉट वायर आर्क गन कोटिंग चैंबर के शीर्ष पर स्थापित हैं, एनोड नीचे स्थापित है, और कोटिंग चैंबर परिधि के ऊपर और नीचे दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल स्थापित हैं। आर्क लाइट इलेक्ट्रॉन सर्पिल लाइन आंदोलन करने के लिए ऊपर से नीचे की ओर प्रवाहित होते हैं।
2. स्थायी चुंबक प्लस छोटे गोलाकार कैथोड आर्क स्रोत का विद्युत चुम्बकीय नियंत्रण
विद्युतचुंबकीय कुंडली, लक्ष्य की परिधि में घूर्णी गति करने के लिए आर्क स्पॉट को त्वरित करती है, जिससे लक्ष्य सतह पर आर्क स्पॉट का निवास समय कम हो जाता है, पिघले हुए पूल का क्षेत्र घट जाता है और फिल्म परत संगठन परिष्कृत हो जाता है।
3.दोहरी विद्युत चुम्बकीय नियंत्रण कैथोडिक आर्क स्रोत
कैथोडिक आर्क स्रोत दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल से सुसज्जित है, जो इलेक्ट्रॉन प्रवाह की घूर्णी गति में सुधार करता है और फिल्म परत संगठन को परिष्कृत करता है।
4.मैग्नेट्रॉन साइक्लोट्रॉन PECVD
इलेक्ट्रॉनों को घुमाने के लिए डीसी पीईसीवीडी कोटिंग कक्ष के बाहर दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल स्थापित किए जाते हैं, जिससे इलेक्ट्रॉनों और गैस के बीच टकराव की संभावना बढ़ जाती है, और फिल्म परत में कणों के पृथक्करण दर में सुधार होता है।
5.ईसीआर माइक्रोवेव पीईसीवीडी
कोटिंग कक्ष के बाहर ऊपरी और निचले दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल स्थापित किए गए हैं, जो पृथक्करण दर में सुधार कर सकते हैं।
6.आर्क लाइट डिस्चार्ज पीईसीवीडी
चाप निर्वहन PECVD उपकरण कोटिंग कक्ष के चारों ओर ऊपरी और निचले दो विद्युत चुम्बकीय कॉयल की स्थापना, हीरे की फिल्म के जमाव, समाक्षीय विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र हाइड्रोकार्बन के गैस आयनीकरण को प्रोत्साहित करने के लिए चाप इलेक्ट्रॉन प्रवाह को घुमाया जा सकता है।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: अक्टूबर-24-2023