૧. હોલો કેથોડ આયન કોટિંગ મશીન અને હોટ વાયર આર્ક આયન કોટિંગ મશીન
કોટિંગ ચેમ્બરની ટોચ પર હોલો કેથોડ ગન અને હોટ વાયર આર્ક ગન સ્થાપિત થયેલ છે, એનોડ તળિયે સ્થાપિત થયેલ છે, અને કોટિંગ ચેમ્બરની પરિઘની ઉપર અને નીચે બે ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ સ્થાપિત થયેલ છે. સર્પાકાર રેખા ચળવળ કરવા માટે ઉપરથી નીચે સુધી આર્ક લાઇટ ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ.
2. નાના ગોળાકાર કેથોડ ચાપ સ્ત્રોતનું કાયમી ચુંબક વત્તા ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક નિયંત્રણ
ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ લક્ષ્યના પરિઘમાં રોટરી ગતિ કરવા માટે ચાપ સ્થળને વેગ આપે છે, જે લક્ષ્ય સપાટી પર ચાપ સ્થળના રહેઠાણ સમયને ઘટાડે છે, પીગળેલા પૂલના ક્ષેત્રફળને ઘટાડે છે અને ફિલ્મ સ્તર સંગઠનને શુદ્ધ કરે છે.
૩.ડ્યુઅલ ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કંટ્રોલ કેથોડિક આર્ક સોર્સ
કેથોડિક આર્ક સ્ત્રોત બે ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલથી સજ્જ છે, જે ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહની પરિભ્રમણ ગતિને સુધારે છે અને ફિલ્મ સ્તર સંગઠનને શુદ્ધ કરે છે.
૪. મેગ્નેટ્રોન સાયક્લોટ્રોન PECVD
ઇલેક્ટ્રોનને ફેરવવા માટે DC PECVD કોટિંગ ચેમ્બરની બહાર બે ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ સ્થાપિત કરવામાં આવે છે, જે ઇલેક્ટ્રોન અને ગેસ વચ્ચે અથડામણની સંભાવના વધારે છે, અને ફિલ્મ સ્તરમાં કણોના વિયોજન દરમાં સુધારો કરે છે.
૫.ECR માઇક્રોવેવ PECVD
સ્થાપિત બહારના કોટિંગ ચેમ્બરમાં ઉપલા અને નીચલા ભાગમાં બે ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ સાથે, વિયોજન દરમાં સુધારો કરી શકાય છે.
6.આર્ક લાઇટ ડિસ્ચાર્જ PECVD
બે ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલના ઉપલા અને નીચલા સ્થાપનની આસપાસ ચાપ સ્રાવ PECVD સાધનો કોટિંગ ચેમ્બરમાં, હીરા ફિલ્મનું જુબાની, કોએક્ષિયલ ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ક્ષેત્રને હાઇડ્રોકાર્બનના ગેસ આયનીકરણને ઉત્તેજીત કરવા માટે ચાપ ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ ફેરવી શકાય છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: ઓક્ટોબર-૨૪-૨૦૨૩