1. Inneal còmhdach ian catod falamh agus inneal còmhdach ian arc uèir teth
Tha an gunna catod falamh agus an gunna stuagh uèir theth air an stàladh aig mullach an t-seòmair chòmhdaich, tha an anod air a stàladh aig a’ bhonn, agus tha dà choilich electromagnetic air an stàladh aig mullach is bonn iomall an t-seòmair chòmhdaich. Bidh dealanan solas stuagh a’ sruthadh bhon mhullach chun a’ bhonn gus gluasad loidhne shnìomhanach a dhèanamh.
2. Magnet maireannach agus smachd electromagnetic air stòr beag cruinn arc catod
Bidh an coil electromagnetic a’ luathachadh puing a’ bhogha gus gluasad rothlach a dhèanamh ann an cearcall-thomhas na targaid, a lughdaicheas ùine-còmhnaidh puing a’ bhogha air uachdar na targaid, a lughdaicheas farsaingeachd an amar leaghte agus a leasaicheas eagrachadh sreath an fhilm.
3. Stòr arc cathodic smachd electromagnetic dùbailte
Tha an stòr arc catodach uidheamaichte le dà choilich electromagnetic, a leasaicheas astar rothlach sruthadh electron agus a neartaicheas eagrachadh sreath an fhilm.
4. Ciclotron Magnetron PECVD
Tha dà choilich electromagnetic air an stàladh taobh a-muigh seòmar còtaidh DC PECVD gus na dealanan a thionndadh, a tha ag àrdachadh coltachd bualadh eadar na dealanan agus a’ ghas, agus a’ leasachadh ìre dì-cheangal nam mìrean anns an t-sreath film.
5.ECR Microwave PECVD
Anns an t-seòmar còtaidh taobh a-muigh an stàlaidh, tha dà choil electromagnetic air an cur a-steach anns an uachdar agus an uachdar, gus an ìre dì-sgaoilidh a leasachadh.
6. Sgaoileadh Solais Arc PECVD
Anns an t-seòmar còmhdach uidheamachd PECVD sgaoilidh arc timcheall air an stàladh àrd is ìosal de dhà choilich electromagnetic, tasgadh film daoimean, faodar an raon electromagnetic co-axial a thionndadh le bhith a’ cuairteachadh sruthadh electron arc gus ionization gas de hydrocarbons a bhrosnachadh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 24 Dàmhair 2023