1. Meaisín sciath ian catóide log agus meaisín sciath ian stua sreinge te
Tá an gunna catóide log agus an gunna stua sreinge te suiteáilte ag barr an tseomra sciath, tá an anóid suiteáilte ag an mbun, agus tá dhá chorna leictreamaighnéadacha suiteáilte ag barr agus bun imeall an tseomra sciath. Sreabhann leictreon solas stua ón mbarr go dtí an bun chun gluaiseacht líne bíseach a dhéanamh.
2. Maighnéad buan móide rialú leictreamaighnéadach ar an bhfoinse stua catóide ciorclach beag
Luasghéaraíonn an corna leictreamaighnéadach an phointe stua chun gluaiseacht rothlach a dhéanamh i imlíne na sprice, rud a laghdaíonn am cónaithe an phointe stua ar dhromchla na sprice, a laghdaíonn achar an linn leáite agus a fheabhsaíonn eagrú an chiseal scannáin.
3. Foinse stua catóideach rialaithe leictreamaighnéadaigh dhúbailte
Tá dhá choil leictreamaighnéadacha feistithe ar an bhfoinse stua catóideach, rud a fheabhsaíonn luas rothlach shreabhadh na leictreon agus a chuireann feabhas ar eagrú an chiseal scannáin.
4. Cioclótrón Maighnéadrón PECVD
Tá dhá chorna leictreamaighnéadacha suiteáilte lasmuigh den seomra sciath DC PECVD chun na leictreoin a rothlú, rud a mhéadaíonn an dóchúlacht go dtarlóidh imbhualadh idir na leictreoin agus an gás, agus a fheabhsaíonn ráta díscaoilte na gcáithníní sa chiseal scannáin.
5.ECR Micreathonnán PECVD
Sa seomra sciath lasmuigh den suiteáilte, tá dhá choil leictreamaighnéadacha sa chuid uachtarach agus íochtarach, rud a fheabhsaíonn an ráta díscaoilte.
6. Scaoileadh Solais Stua PECVD
Sa seomra sciath trealaimh PECVD urscaoilte stua timpeall suiteáil dhá choil leictreamaighnéadacha uachtaracha agus íochtaracha, taisctear scannán diamant, is féidir sreabhadh leictreon stua a rothlú tríd an réimse leictreamaighnéadach comhaiseach chun ianú gáis hidreacarbóin a spreagadh.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 24 Deireadh Fómhair 2023