1. Holle katode-ionencoatingmasine en hjitte triedbôge-ionencoatingmasine
It holle katodegewear en it hjitte triedbôgegewear binne oan 'e boppekant fan 'e coatingkeamer ynstalleare, de anode is oan 'e ûnderkant ynstalleare, en twa elektromagnetyske spoelen binne oan 'e boppe- en ûnderkant fan 'e periferie fan 'e coatingkeamer ynstalleare. Bôgeljochtelektronen streame fan boppen nei ûnderen om in spiraalfoarmige linebeweging út te fieren.
2. Permaninte magneet plus elektromagnetyske kontrôle fan 'e lytse sirkelfoarmige katodebôgeboarne
De elektromagnetyske spoel fersnelt de bôgeplak om in rotearjende beweging út te fieren yn 'e omtrek fan it doel, wat de ferbliuwstiid fan 'e bôgeplak op it doelflak ferminderet, it oerflak fan 'e smeltende plas ferminderet en de organisaasje fan 'e filmlaach ferfine.
3. Dual elektromagnetyske kontrôle kathodyske bôgeboarne
De kathodyske bôgeboarne is foarsjoen fan twa elektromagnetyske spoelen, wat de rotaasjesnelheid fan 'e elektronstream ferbetteret en de organisaasje fan 'e filmlaach ferfine.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Twa elektromagnetyske spoelen binne bûten de DC PECVD-coatingkeamer ynstalleare om de elektroanen te draaien, wat de kâns op botsing tusken de elektroanen en it gas fergruttet, en de dissosiaasjesnelheid fan 'e dieltsjes yn' e filmlaach ferbetteret.
5.ECR Magnetron PECVD
Yn 'e coatingkeamer bûten de ynstalleare de boppeste en ûnderste mei twa elektromagnetyske spoelen, kin de dissosiaasjesnelheid ferbetterje.
6. Bôgeljochtûntlading PECVD
Yn 'e coatingkeamer fan' e bôge-ûntlading PECVD-apparatuer om 'e boppeste en ûnderste ynstallaasje fan twa elektromagnetyske spoelen, ôfsetting fan diamantfilm, kin it koaksiale elektromagnetyske fjild wurde rotearre bôge-elektroanstream om de gasionisaasje fan koalwetterstoffen te stimulearjen.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: 24 oktober 2023