1. Machine de revêtement ionique à cathode creuse et machine de revêtement ionique à arc à fil chaud
Le pistolet à cathode creuse et le pistolet à arc à fil chaud sont installés en haut de la chambre de revêtement, l'anode en bas, et deux bobines électromagnétiques sont installées en haut et en bas de la périphérie de la chambre. Les électrons de la lumière de l'arc circulent du haut vers le bas pour créer un mouvement en spirale.
2. Aimant permanent et contrôle électromagnétique de la petite source d'arc cathodique circulaire
La bobine électromagnétique accélère le point d'arc pour effectuer un mouvement rotatif dans la circonférence de la cible, ce qui réduit le temps de séjour du point d'arc sur la surface de la cible, diminue la surface du bain de fusion et affine l'organisation de la couche de film.
3. Source d'arc cathodique à double contrôle électromagnétique
La source d'arc cathodique est équipée de deux bobines électromagnétiques, ce qui améliore la vitesse de rotation du flux d'électrons et affine l'organisation de la couche de film.
4.Magnétron Cyclotron PECVD
Deux bobines électromagnétiques sont installées à l'extérieur de la chambre de revêtement DC PECVD pour faire tourner les électrons, ce qui augmente la probabilité de collision entre les électrons et le gaz et améliore le taux de dissociation des particules dans la couche de film.
5.ECR Micro-ondes PECVD
Dans la chambre de revêtement à l'extérieur, les bobines supérieure et inférieure installées avec deux bobines électromagnétiques peuvent améliorer le taux de dissociation.
6. Décharge légère à l'arc PECVD
Dans la chambre de revêtement de l'équipement PECVD à décharge d'arc autour de l'installation supérieure et inférieure de deux bobines électromagnétiques, dépôt de film de diamant, le champ électromagnétique coaxial peut faire tourner le flux d'électrons de l'arc pour stimuler l'ionisation gazeuse des hydrocarbures.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 24 octobre 2023