1. Ontto katodi-ionipinnoituskone ja kuumalankakaari-ionipinnoituskone
Ontto katodipistooli ja kuumalankakaaripistooli on asennettu pinnoituskammion yläosaan, anodi pohjaan ja kaksi sähkömagneettista kelaa pinnoituskammion reunojen ylä- ja alaosaan. Kaarivalon elektronit virtaavat ylhäältä alas muodostaen spiraalimaisen liikkeen.
2. Pysyvä magneetti ja pienen pyöreän katodikaarilähteen sähkömagneettinen ohjaus
Sähkömagneettinen kela kiihdyttää valokaaripistettä pyörimään kohteen kehällä, mikä lyhentää valokaaripisteen viipymäaikaa kohteen pinnalla, pienentää sulan altaan pinta-alaa ja hienosäätää kalvokerroksen rakennetta.
3. Kaksinkertainen sähkömagneettinen ohjauskatodinen kaarilähde
Katodinen valokaarilähde on varustettu kahdella sähkömagneettisella kelalla, jotka parantavat elektronivirtauksen pyörimisnopeutta ja tarkentavat kalvokerroksen organisaatiota.
4. Magnetron-syklotroni PECVD
DC PECVD -pinnoituskammion ulkopuolelle on asennettu kaksi sähkömagneettista kelaa elektronien pyörittämiseksi, mikä lisää elektronien ja kaasun välisen törmäyksen todennäköisyyttä ja parantaa kalvokerroksen hiukkasten dissosiaationopeutta.
5. ECR-mikroaaltouunin PECVD
Päällystyskammion ulkopuolella asennetussa ylä- ja alaosassa on kaksi sähkömagneettista kelaa, mikä voi parantaa dissosiaationopeutta.
6. Valokaaripurkaus PECVD
Kaaripurkaus-PECVD-laitteiden pinnoituskammiossa kahden sähkömagneettisen kelan ympärille asennetaan ylä- ja alaosa, timanttikalvo kerrostetaan ja koaksiaalinen sähkömagneettinen kenttä voi pyörittää kaarielektronivirtausta hiilivetyjen kaasuionisaation stimuloimiseksi.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 24.10.2023