1. Katodo hutseko ioien estaldura-makina eta hari beroko arku ioien estaldura-makina
Katodo hutsaren pistola eta hari beroaren arku-pistola estaldura-ganberaren goialdean instalatzen dira, anodoa behealdean, eta bi bobina elektromagnetiko estaldura-ganberaren periferiaren goialdean eta behealdean. Arku-argiaren elektroiak goitik behera isurtzen dira espiral-lerro mugimendua egiteko.
2. Iman iraunkorra gehi katodo zirkular arku iturri txikiaren kontrol elektromagnetikoa
Bobina elektromagnetikoak arku-puntua azeleratzen du helburuaren zirkunferentzian biraketa-mugimendua egiteko, eta horrek arku-puntuaren egoitza-denbora murrizten du helburuaren gainazalean, urtutako putzuaren azalera gutxitzen du eta film-geruzaren antolaketa fintzen du.
3. Arku katodikoaren iturri bikoitza kontrol elektromagnetikoa
Arku katodikoaren iturria bi bobina elektromagnetikoz hornituta dago, elektroi-fluxuaren biraketa-abiadura hobetzen eta film-geruzaren antolaketa fintzen duena.
4. Magnetron Ziklotroia PECVD
Bi bobina elektromagnetiko instalatuta daude DC PECVD estaldura-ganberaren kanpoaldean elektroiak birarazteko, eta horrek elektroien eta gasaren arteko talka-probabilitatea handitzen du, eta film-geruzan dauden partikulen disoziazio-tasa hobetzen du.
5.ECR Mikrouhin-labea PECVD
Kanpoko estaldura-ganberan, goiko eta beheko aldeak bi bobina elektromagnetikorekin instalatuta, disoziazio-tasa hobetu daiteke.
6. Arku-argiaren deskarga PECVD
PECVD ekipamenduaren arku-deskargako estaldura-ganberan, goiko eta beheko bi bobina elektromagnetikoren instalazioan, diamantezko filmaren metaketa egiten da, eta eremu elektromagnetiko koaxialak arku-elektroi-fluxua biratu dezake hidrokarburoen gas-ionizazioa estimulatzeko.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2023ko urriaren 24a