1. Õõneskatoodiga ioonkatmismasin ja kuumtraadiga kaare-ioonkatmismasin
Õõneskatoodiga kaarpüstol ja kuumtraadiga kaarpüstol on paigaldatud katmiskambri ülaossa, anood on paigaldatud alla ja kaks elektromagnetilist mähist on paigaldatud katmiskambri perimeetri üla- ja alaossa. Kaarevalguse elektronid liiguvad ülevalt alla, tehes spiraaljoont.
2. Püsimagnet pluss väikese ümmarguse katoodkaare allika elektromagnetiline juhtimine
Elektromagnetiline mähis kiirendab kaarepunkti pöörlevat liikumist sihtmärgi ümbermõõdul, mis vähendab kaarepunkti viibimisaega sihtmärgi pinnal, vähendab sulavanni pindala ja täiustab kilekihi struktuuri.
3. Kahekordne elektromagnetilise juhtimisega katoodkaarallikas
Katoodkaarallikas on varustatud kahe elektromagnetilise mähisega, mis parandavad elektronide voolu pöörlemiskiirust ja täpsustavad kilekihi organisatsiooni.
4. Magnetrontsüklotron PECVD
DC PECVD katmiskambri välisküljele on paigaldatud kaks elektromagnetilist mähist, mis panevad elektronid pöörlema, mis suurendab elektronide ja gaasi kokkupõrke tõenäosust ning parandab kilekihis olevate osakeste dissotsiatsioonikiirust.
5. ECR mikrolaine PECVD
Kattekambris väljaspool paigaldatud ülemist ja alumist kahte elektromagnetilist mähist saab dissotsiatsioonikiirust parandada.
6. Kaarvalguslahendus PECVD
Kaarlahenduse PECVD seadme katekambris paigaldatakse ülemise ja alumise kahe elektromagnetilise mähise ümber teemantkile sadestamiseks ning koaksiaalne elektromagnetväli saab pöörata kaarelektronide voolu, et stimuleerida süsivesinike gaasiionisatsiooni.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 24. okt 2023