1. Máquina de recubrimiento iónico de cátodo hueco y máquina de recubrimiento iónico de arco de alambre caliente
La pistola de cátodo hueco y la pistola de arco de alambre caliente se instalan en la parte superior de la cámara de recubrimiento, el ánodo en la parte inferior y dos bobinas electromagnéticas en la parte superior e inferior de la periferia de la cámara. El flujo de electrones de la luz del arco se realiza de arriba a abajo para generar un movimiento en espiral.
2. Imán permanente más control electromagnético de la pequeña fuente de arco de cátodo circular
La bobina electromagnética acelera el punto del arco para realizar un movimiento giratorio en la circunferencia del objetivo, lo que reduce el tiempo de residencia del punto del arco en la superficie del objetivo, disminuye el área del baño fundido y refina la organización de la capa de película.
3. Fuente de arco catódico de control electromagnético dual
La fuente de arco catódico está equipada con dos bobinas electromagnéticas, que mejoran la velocidad de rotación del flujo de electrones y refinan la organización de la capa de película.
4. Magnetrón Ciclotrón PECVD
Se instalan dos bobinas electromagnéticas fuera de la cámara de recubrimiento PECVD de CC para hacer que los electrones giren, lo que aumenta la probabilidad de colisión entre los electrones y el gas y mejora la tasa de disociación de las partículas en la capa de película.
5.PECVD de microondas ECR
En el exterior de la cámara de recubrimiento se instalan las bobinas electromagnéticas superior e inferior, lo que puede mejorar la tasa de disociación.
6. Descarga de luz de arco PECVD
En la cámara de recubrimiento del equipo PECVD de descarga de arco alrededor de la instalación superior e inferior de dos bobinas electromagnéticas, se deposita una película de diamante, el campo electromagnético coaxial puede girar el flujo de electrones del arco para estimular la ionización del gas de los hidrocarburos.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Hora de publicación: 24 de octubre de 2023