1. Kava katoda jona tegaĵmaŝino kaj varmdrata arka jona tegaĵmaŝino
La kava katoda pafilo kaj varmdrata arkpafilo estas instalitaj ĉe la supro de la tegaĵa ĉambro, la anodo estas instalita ĉe la fundo, kaj du elektromagnetaj bobenoj estas instalitaj ĉe la supro kaj fundo de la periferio de la tegaĵa ĉambro. Arklumaj elektronoj fluas de supre al sube por fari spiralan linian movadon.
2. Permanenta magneto plus elektromagneta kontrolo de la malgranda cirkla katoda arkfonto
La elektromagneta bobeno akcelas la arkpunkton por fari rotacian movadon en la cirkonferenco de la celo, kio reduktas la restadtempon de la arkpunkto sur la cela surfaco, malpliigas la areon de la fandita naĝejo kaj rafinas la organizadon de la filmotavolo.
3. Duobla elektromagneta kontrolo katoda arka fonto
La katoda arkfonto estas ekipita per du elektromagnetaj bobenoj, kiuj plibonigas la rotacian rapidon de elektronfluo kaj rafinas la filmtavolorganizon.
4. Magnetrona Ciklotrono PECVD
Du elektromagnetaj bobenoj estas instalitaj ekster la DC PECVD-tega ĉambro por igi la elektronojn rotacii, kio pliigas la probablecon de kolizio inter la elektronoj kaj la gaso, kaj plibonigas la disociiĝoftecon de la partikloj en la filmtavolo.
5.ECR Mikroonda PECVD
En la tega ĉambro ekstere, la supra kaj malsupra instalitaj kun du elektromagnetaj bobenoj povas plibonigi la disociiĝon.
6. Arka Luma Malŝarĝo PECVD
En la arka malŝarĝa PECVD-ekipaĵo, la tegaĵa ĉambro ĉirkaŭ la supra kaj malsupra instalado de du elektromagnetaj bobenoj, deponado de diamanta filmo, la koaksiala elektromagneta kampo povas esti rotaciita per arka elektrona fluo por stimuli la gasjonigon de hidrokarbonoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 24-a de oktobro 2023