1. Μηχανή επικάλυψης ιόντων κοίλης καθόδου και μηχανή επικάλυψης ιόντων με θερμό τόξο σύρματος
Το κοίλο πιστόλι καθόδου και το πιστόλι θερμού τόξου σύρματος είναι εγκατεστημένα στην κορυφή του θαλάμου επίστρωσης, η άνοδος είναι εγκατεστημένη στο κάτω μέρος και δύο ηλεκτρομαγνητικά πηνία είναι εγκατεστημένα στην κορυφή και στο κάτω μέρος της περιφέρειας του θαλάμου επίστρωσης. Το φως του τόξου ρέει από πάνω προς τα κάτω για να κάνει σπειροειδή γραμμική κίνηση.
2. Μόνιμος μαγνήτης συν ηλεκτρομαγνητικός έλεγχος της μικρής κυκλικής πηγής καθοδικού τόξου
Το ηλεκτρομαγνητικό πηνίο επιταχύνει το σημείο τόξου για να κάνει περιστροφική κίνηση στην περιφέρεια του στόχου, γεγονός που μειώνει τον χρόνο παραμονής του σημείου τόξου στην επιφάνεια του στόχου, μειώνει την περιοχή της λιωμένης λίμνης και βελτιώνει την οργάνωση του στρώματος φιλμ.
3. Διπλή πηγή ηλεκτρομαγνητικού καθοδικού τόξου ελέγχου
Η πηγή καθοδικού τόξου είναι εξοπλισμένη με δύο ηλεκτρομαγνητικά πηνία, τα οποία βελτιώνουν την ταχύτητα περιστροφής της ροής ηλεκτρονίων και βελτιώνουν την οργάνωση της στρώσης της μεμβράνης.
4. Κυκλοτρόνιο Μαγνήτρου PECVD
Δύο ηλεκτρομαγνητικά πηνία είναι εγκατεστημένα έξω από τον θάλαμο επίστρωσης DC PECVD για να κάνουν τα ηλεκτρόνια να περιστρέφονται, γεγονός που αυξάνει την πιθανότητα σύγκρουσης μεταξύ των ηλεκτρονίων και του αερίου και βελτιώνει τον ρυθμό διάσπασης των σωματιδίων στο στρώμα μεμβράνης.
5.ECR Φούρνος μικροκυμάτων PECVD
Στον θάλαμο επίστρωσης έξω από το εγκατεστημένο, το άνω και το κάτω μέρος έχουν εγκατασταθεί δύο ηλεκτρομαγνητικά πηνία, τα οποία μπορούν να βελτιώσουν τον ρυθμό διάσπασης.
6. Εκκένωση φωτός τόξου PECVD
Στον θάλαμο επίστρωσης εξοπλισμού PECVD εκκένωσης τόξου γύρω από την άνω και κάτω εγκατάσταση δύο ηλεκτρομαγνητικών πηνίων, εναπόθεση μεμβράνης διαμαντιού, το ομοαξονικό ηλεκτρομαγνητικό πεδίο μπορεί να περιστραφεί ροή ηλεκτρονίων τόξου για να διεγείρει τον ιονισμό αερίου των υδρογονανθράκων.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 24 Οκτωβρίου 2023