1. Hulkatodeionbelægningsmaskine og varmtrådsbueionbelægningsmaskine
Hulkatodepistolen og varmtrådsbuepistolen er installeret øverst i belægningskammeret, anoden er installeret i bunden, og to elektromagnetiske spoler er installeret øverst og nederst i belægningskammerets periferi. Bueelektronerne strømmer fra toppen til bunden for at udføre en spiralformet linjebevægelse.
2. Permanent magnet plus elektromagnetisk styring af den lille cirkulære katodebuekilde
Den elektromagnetiske spole accelererer lysbuepunktet, så det udfører en roterende bevægelse i målets omkreds, hvilket reducerer lysbuepunktets opholdstid på måloverfladen, mindsker smeltebadets areal og forfiner filmlagets opbygning.
3. Dobbelt elektromagnetisk kontrol katodisk lysbuekilde
Den katodiske lysbuekilde er udstyret med to elektromagnetiske spoler, hvilket forbedrer elektronstrømmens rotationshastighed og forfiner filmlagets organisering.
4. Magnetroncyklotron PECVD
To elektromagnetiske spoler er installeret uden for DC PECVD-belægningskammeret for at få elektronerne til at rotere, hvilket øger sandsynligheden for kollision mellem elektronerne og gassen og forbedrer dissociationshastigheden af partiklerne i filmlaget.
5.ECR Mikrobølgeovn PECVD
I belægningskammeret udenfor er der installeret to elektromagnetiske spoler i den øvre og nedre del, hvilket kan forbedre dissociationshastigheden.
6. Lysbueudladning PECVD
I PECVD-udstyrets belægningskammer er der installeret to elektromagnetiske spoler omkring den øvre og nedre del af udledningsrummet, hvor diamantfilmen er aflejret. Det koaksiale elektromagnetiske felt kan roteres af bueelektronstrømmen for at stimulere gasioniseringen af kulbrinter.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 24. oktober 2023