1. Peiriant cotio ïonau catod gwag a pheiriant cotio ïonau arc gwifren boeth
Mae'r gwn catod gwag a'r gwn arc gwifren boeth wedi'u gosod ar frig y siambr cotio, mae'r anod wedi'i osod ar y gwaelod, ac mae dau goil electromagnetig wedi'u gosod ar frig a gwaelod ymyl y siambr cotio. Mae electronau golau arc yn llifo o'r brig i'r gwaelod i wneud symudiad llinell droellog.
2. Magnet parhaol ynghyd â rheolaeth electromagnetig y ffynhonnell arc catod crwn bach
Mae'r coil electromagnetig yn cyflymu'r fan arc i wneud symudiad cylchdro o amgylch cylchedd y targed, sy'n lleihau amser preswylio'r fan arc ar wyneb y targed, yn lleihau arwynebedd y pwll tawdd ac yn mireinio trefniadaeth yr haen ffilm.
3. Ffynhonnell arc cathodig rheoli electromagnetig deuol
Mae'r ffynhonnell arc cathodig wedi'i chyfarparu â dau goil electromagnetig, sy'n gwella cyflymder cylchdro llif electronau ac yn mireinio trefniadaeth yr haen ffilm.
4. Seiclotron Magnetron PECVD
Mae dau goil electromagnetig wedi'u gosod y tu allan i siambr cotio DC PECVD i wneud i'r electronau gylchdroi, sy'n cynyddu'r tebygolrwydd o wrthdrawiad rhwng yr electronau a'r nwy, ac yn gwella cyfradd daduniad y gronynnau yn yr haen ffilm.
5.ECR Microdon PECVD
Yn y siambr cotio y tu allan i'r gosodiad uchaf ac isaf gyda dau goil electromagnetig, gall wella'r gyfradd daduniad.
6. Rhyddhau Golau Arc PECVD
Yn siambr cotio offer PECVD rhyddhau arc o amgylch gosodiad uchaf ac isaf dau goil electromagnetig, dyddodiad ffilm diemwnt, gellir cylchdroi llif electronau arc y maes electromagnetig cydechelinol i ysgogi ïoneiddio nwy hydrocarbonau.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Hydref-24-2023