1. Stroj na iontové nanášení s dutou katodou a stroj na iontové nanášení s horkým drátem
Dutá katodová tryska a žhavená drátová tryska jsou instalovány v horní části lakovací komory, anoda je instalována ve spodní části a dvě elektromagnetické cívky jsou instalovány v horní a spodní části obvodu lakovací komory. Elektrony oblouku proudí shora dolů a vytvářejí spirálový pohyb.
2. Permanentní magnet a elektromagnetické řízení malého kruhového katodového obloukového zdroje
Elektromagnetická cívka zrychluje obloukovou skvrnu tak, aby se pohybovala rotačním pohybem po obvodu terče, což zkracuje dobu setrvání obloukové skvrny na povrchu terče, zmenšuje plochu roztavené lázně a zjemňuje organizaci vrstvy filmu.
3. Dvojitý elektromagneticky řízený zdroj katodického oblouku
Katodický obloukový zdroj je vybaven dvěma elektromagnetickými cívkami, což zlepšuje rychlost otáčení toku elektronů a zdokonaluje organizaci vrstvy filmu.
4. Magnetronový cyklotron PECVD
Vně komory pro nanášení DC PECVD jsou instalovány dvě elektromagnetické cívky, které způsobují rotaci elektronů, což zvyšuje pravděpodobnost srážky mezi elektrony a plynem a zlepšuje rychlost disociace částic ve vrstvě filmu.
5. ECR Mikrovlnná PECVD
V povlakovací komoře vně instalované horní a spodní části se dvěma elektromagnetickými cívkami může zlepšit rychlost disociace.
6. Obloukový výboj PECVD
V komoře pro nanášení povlaků zařízení PECVD s obloukovým výbojem kolem horní a dolní instalace dvou elektromagnetických cívek, nanášení diamantového filmu, může koaxiální elektromagnetické pole rotovat tok elektronů oblouku a stimulovat ionizaci plynu uhlovodíků.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 24. října 2023