1. Macchina di rivestimentu di ioni à catodu cavu è macchina di rivestimentu di ioni à arcu à filu caldu
A pistola à catodu cavu è a pistola à arcu à filu caldu sò stallate in cima di a camera di rivestimentu, l'anodu hè stallatu in fondu, è duie bobine elettromagnetiche sò stallate in cima è in fondu di a periferia di a camera di rivestimentu. L'elettroni di a luce à arcu scorrenu da cima à fondu per fà un muvimentu in spirale.
2. Magnetu permanente più cuntrollu elettromagneticu di a piccula fonte d'arcu catodicu circulare
A bobina elettromagnetica accelera u puntu di l'arcu per fà un muvimentu rotativu in a circunferenza di u bersagliu, ciò chì riduce u tempu di residenza di u puntu di l'arcu nantu à a superficia di u bersagliu, diminuisce l'area di u bagnu fusu è affina l'urganizazione di u stratu di film.
3. Fonte d'arcu catodicu à doppia cuntrollu elettromagneticu
A fonte d'arcu catodicu hè dotata di duie bobine elettromagnetiche, chì migliuranu a velocità di rotazione di u flussu d'elettroni è affinanu l'urganizazione di u stratu di film.
4. Magnetron Ciclotrone PECVD
Dui bobine elettromagnetiche sò installate fora di a camera di rivestimentu DC PECVD per fà rotà l'elettroni, ciò chì aumenta a probabilità di collisione trà l'elettroni è u gasu, è migliora a velocità di dissociazione di e particelle in u stratu di film.
5.ECR Microonde PECVD
In a camera di rivestimentu fora di l'installazione di a parte superiore è inferiore cù duie bobine elettromagnetiche, pò migliurà a velocità di dissociazione.
6. Scarica di luce à arcu PECVD
In a camera di rivestimentu di l'equipaggiu PECVD di scarica à arcu intornu à l'installazione superiore è inferiore di duie bobine elettromagnetiche, deposizione di film di diamanti, u campu elettromagneticu coassiale pò esse rotatu u flussu di elettroni à arcu per stimulà l'ionizazione di gas di idrocarburi.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 24 d'ottobre di u 2023