1. Màquina de recobriment d'ions de càtode buit i màquina de recobriment d'ions d'arc de fil calent
La pistola de càtode buit i la pistola d'arc de fil calent estan instal·lades a la part superior de la cambra de recobriment, l'ànode està instal·lat a la part inferior i dues bobines electromagnètiques estan instal·lades a la part superior i inferior de la perifèria de la cambra de recobriment. Els electrons de la llum d'arc flueixen de dalt a baix per fer un moviment en espiral.
2. Imant permanent més control electromagnètic de la petita font d'arc de càtode circular
La bobina electromagnètica accelera el punt d'arc per fer un moviment rotatori a la circumferència de l'objectiu, cosa que redueix el temps de residència del punt d'arc a la superfície de l'objectiu, disminueix l'àrea del grup fos i refina l'organització de la capa de la pel·lícula.
3. Font d'arc catòdic de control electromagnètic dual
La font d'arc catòdic està equipada amb dues bobines electromagnètiques, que milloren la velocitat de rotació del flux d'electrons i refinen l'organització de la capa de pel·lícula.
4. Magnetró Ciclotró PECVD
Dues bobines electromagnètiques estan instal·lades fora de la cambra de recobriment PECVD de corrent continu per fer girar els electrons, cosa que augmenta la probabilitat de col·lisió entre els electrons i el gas i millora la velocitat de dissociació de les partícules de la capa de pel·lícula.
5.ECR Microones PECVD
A la cambra de recobriment exterior, instal·lada la part superior i inferior amb dues bobines electromagnètiques, es pot millorar la taxa de dissociació.
6. Descàrrega de llum d'arc PECVD
A la cambra de recobriment de l'equip de descàrrega d'arc PECVD, al voltant de la instal·lació superior i inferior de dues bobines electromagnètiques, la deposició de la pel·lícula de diamant, el camp electromagnètic coaxial pot girar el flux d'electrons d'arc per estimular la ionització del gas dels hidrocarburs.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 24 d'octubre de 2023