1. Mašina za ionsko premazivanje sa šupljom katodom i mašina za ionsko premazivanje vrućom žicom
Pištolj sa šupljom katodom i pištolj sa usijanom žicom za zavarivanje postavljeni su na vrhu komore za premazivanje, anoda je postavljena na dnu, a dvije elektromagnetne zavojnice su postavljene na vrhu i dnu periferije komore za premazivanje. Elektroni luka teku od vrha prema dnu, kreteći se spiralno.
2. Permanentni magnet plus elektromagnetna kontrola malog kružnog katodnog izvora luka
Elektromagnetski kalem ubrzava lučnu tačku kako bi se vršilo rotacijsko kretanje po obodu mete, što smanjuje vrijeme zadržavanja lučne tačke na površini mete, smanjuje površinu rastopljenog bazena i poboljšava organizaciju sloja filma.
3. Dvostruki elektromagnetski kontrolisani izvor katodnog luka
Katodni izvor luka opremljen je s dvije elektromagnetske zavojnice, što poboljšava brzinu rotacije protoka elektrona i poboljšava organizaciju sloja filma.
4. Magnetron Ciklotron PECVD
Dva elektromagnetna namotaja su instalirana izvan DC PECVD komore za premazivanje kako bi se elektroni rotirali, što povećava vjerovatnoću sudara između elektrona i gasa i poboljšava brzinu disocijacije čestica u sloju filma.
5.ECR Mikrovalna PECVD
U komori za premazivanje, izvan gornjeg i donjeg dijela s dvije elektromagnetske zavojnice, instalirane su dvije, što može poboljšati brzinu disocijacije.
6. Pražnjenje lučnog svjetla PECVD
U PECVD opremi za elektrolučno pražnjenje, oko gornje i donje instalacije dvije elektromagnetske zavojnice, nanosi se dijamantski film, koaksijalno elektromagnetsko polje može rotirati protok elektrona luka kako bi se stimulirala ionizacija plina ugljikovodika.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 24. oktobar 2023.