1. Машина за йонно покритие с кухи катоди и машина за йонно покритие с гореща тел
Пистолетът с кух катод и пистолетът с гореща тел са монтирани в горната част на камерата за покритие, анодът е монтиран в долната част, а две електромагнитни намотки са монтирани в горната и долната част на периферията на камерата за покритие. Електроните на дъгата се движат отгоре надолу, за да се движат по спираловидна линия.
2. Постоянен магнит плюс електромагнитно управление на малкия кръгъл катоден дъгов източник
Електромагнитната бобина ускорява дъговото петно, за да извършва въртеливо движение по периферията на мишената, което намалява времето на престой на дъговото петно върху повърхността на мишената, намалява площта на разтопения басейн и подобрява организацията на слоя филм.
3. Двоен електромагнитен контрол на катодния дъгов източник
Катодният дъгов източник е снабден с две електромагнитни намотки, което подобрява скоростта на въртене на електронния поток и усъвършенства организацията на филмовия слой.
4. Магнетронно-циклотронно PECVD
Две електромагнитни намотки са инсталирани извън DC PECVD камерата за покритие, за да се накарат електроните да се въртят, което увеличава вероятността от сблъсък между електроните и газа и подобрява скоростта на дисоциация на частиците във филмовия слой.
5.ECR Микровълнова PECVD
В камерата за покритие извън инсталираните горна и долна част с две електромагнитни намотки може да се подобри скоростта на дисоциация.
6. PECVD разряд на дъгова светлина
В камерата за покритие на PECVD оборудване с дъгов разряд около горната и долната инсталация на две електромагнитни намотки, отлагането на диамантено фолио, коаксиалното електромагнитно поле може да завърти потока от електрони на дъгата, за да стимулира йонизацията на газ от въглеводороди.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 24 октомври 2023 г.