1. Машына для іённага пакрыцця з полым катодам і машына для іённага пакрыцця з гарачым дротам
Гармата з полым катодам і дугавая гармата з гарачым дротам усталяваны ў верхняй частцы камеры для нанясення пакрыцця, анод усталяваны ўнізе, а дзве электрамагнітныя шпулькі ўсталяваны ўверсе і ўнізе па перыферыі камеры для нанясення пакрыцця. Электроны дугі рухаюцца зверху ўніз, ствараючы спіральны лінію руху.
2. Пастаянны магніт плюс электрамагнітнае кіраванне невялікай крыніцай круглай катоднай дугі
Электрамагнітная шпулька паскарае дугавую пляму, каб яна здзяйсняла вярчальны рух па акружнасці мішэні, што скарачае час знаходжання дугавой плямы на паверхні мішэні, памяншае плошчу расплаўленай ванны і ўдасканальвае арганізацыю плёнкавага пласта.
3. Крыніца катоднай дугі з падвойным электрамагнітным кіраваннем
Крыніца катоднай дугі абсталявана двума электрамагнітнымі шпулькамі, што паляпшае хуткасць кручэння электроннага патоку і ўдасканальвае арганізацыю плёнкавага пласта.
4. Магнетронны цыклатрон PECVD
Дзве электрамагнітныя шпулькі ўстаноўлены звонку камеры пакрыцця пастаяннага току PECVD, каб прымусіць электроны круціцца, што павялічвае верагоднасць сутыкнення паміж электронамі і газам і паляпшае хуткасць дысацыяцыі часціц у плёнкавым пласце.
5. Мікрахвалевая печ ECR PECVD
У камеры пакрыцця звонку ўсталяваныя верхняя і ніжняя дзве электрамагнітныя шпулькі, што можа палепшыць хуткасць дысацыяцыі.
6. Дугавы светлавы разрад PECVD
У дугавой разраднай камеры PECVD вакол верхняй і ніжняй устаноўкі дзвюх электрамагнітных шпулек наносіцца алмазная плёнка, кааксіяльнае электрамагнітнае поле можа круціць дугу, стымулюючы іянізацыю газу вуглевадародаў.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 24 кастрычніка 2023 г.