1. İçi boş katod ion örtük maşını və isti tel qövs ion örtük maşını
İçi boş katod tapançası və isti naqilli qövs tapançası örtük kamerasının yuxarı hissəsində, anod aşağıda, örtük kamerasının periferiyasının yuxarı və aşağı hissəsində iki elektromaqnit rulon quraşdırılmışdır. Qövs işıq elektronu spiral xətt hərəkəti etmək üçün yuxarıdan aşağıya doğru hərəkət edir.
2. Daimi maqnit və kiçik dairəvi katod qövs mənbəyinə elektromaqnit nəzarəti
Elektromaqnit bobin hədəfin ətrafı boyunca fırlanma hərəkəti etmək üçün qövs nöqtəsini sürətləndirir, bu da qövs nöqtəsinin hədəf səthində qalma müddətini azaldır, ərimiş hovuzun sahəsini azaldır və film təbəqəsinin təşkilini yaxşılaşdırır.
3.Dual elektromaqnit nəzarət katod qövs mənbəyi
Katodik qövs mənbəyi iki elektromaqnit sarğı ilə təchiz olunmuşdur ki, bu da elektron axınının fırlanma sürətini yaxşılaşdırır və film təbəqəsinin təşkilini dəqiqləşdirir.
4.Maqnetron Siklotron PECVD
Elektronların fırlanması üçün DC PECVD örtük kamerasının xaricində iki elektromaqnit sarğı quraşdırılır ki, bu da elektronlarla qaz arasında toqquşma ehtimalını artırır və film təbəqəsindəki hissəciklərin dissosiasiya sürətini yaxşılaşdırır.
5.ECR Mikrodalğalı PECVD
Üst və alt iki elektromaqnit sarğı ilə quraşdırılmış xarici örtük kamerasında dissosiasiya sürətini yaxşılaşdıra bilər.
6.Arc Light Boşalma PECVD
Qövs boşaldılması PECVD avadanlığının örtük kamerasında iki elektromaqnit rulonun yuxarı və aşağı quraşdırılması, almaz filminin çökməsi, koaksial elektromaqnit sahəsi karbohidrogenlərin qaz ionlaşmasını stimullaşdırmaq üçün qövs elektron axını döndərə bilər.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 24 oktyabr 2023-cü il