1. آلة طلاء أيونات الكاثود المجوفة وآلة طلاء أيونات القوس السلكي الساخن
يُركَّب مدفع الكاثود المجوف ومدفع القوس السلكي الساخن أعلى حجرة الطلاء، بينما يُركَّب الأنود أسفلها، ويُركَّب ملفَّان كهرومغناطيسيان أعلى وأسفل محيط حجرة الطلاء. تتدفق إلكترونات ضوء القوس من الأعلى إلى الأسفل مُشكِّلةً حركةً حلزونية.
2. مغناطيس دائم بالإضافة إلى التحكم الكهرومغناطيسي لمصدر قوس الكاثود الدائري الصغير
يعمل الملف الكهرومغناطيسي على تسريع بقعة القوس للقيام بحركة دورانية في محيط الهدف، مما يقلل من وقت بقاء بقعة القوس على سطح الهدف، ويقلل من مساحة حوض المنصهر ويحسن تنظيم طبقة الفيلم.
3. مصدر قوس كاثودي للتحكم الكهرومغناطيسي المزدوج
تم تجهيز مصدر القوس الكاثودي بملفين كهرومغناطيسيين، مما يحسن سرعة دوران تدفق الإلكترون ويحسن تنظيم طبقة الفيلم.
4.مغنطرون سيكلوترون PECVD
يتم تثبيت ملفين كهرومغناطيسيين خارج غرفة طلاء DC PECVD لجعل الإلكترونات تدور، مما يزيد من احتمال الاصطدام بين الإلكترونات والغاز، ويحسن معدل تفكك الجسيمات في طبقة الفيلم.
5.ECR ميكروويف PECVD
في غرفة الطلاء خارجها تم تركيب ملفين كهرومغناطيسيين في الجزء العلوي والسفلي، مما يمكن من تحسين معدل التفكك.
6. تفريغ ضوء القوس الكهربائي PECVD
في غرفة طلاء معدات تفريغ القوس PECVD حول التركيب العلوي والسفلي لملفين كهرومغناطيسيين، وترسب فيلم الماس، يمكن تدوير المجال الكهرومغناطيسي المحوري لتدفق الإلكترون القوسي لتحفيز تأين الغاز للهيدروكربونات.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٤ أكتوبر ٢٠٢٣