Coaxial የኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ አይነት ion ሽፋን ማሽን

1. ባዶ ካቶድ ion ሽፋን ማሽን እና ሙቅ ሽቦ አርክ ion ማቀፊያ ማሽን

ባዶው ካቶድ ሽጉጥ እና ሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ በሽፋኑ ክፍል ላይኛው ክፍል ላይ ተጭነዋል ፣ አኖድው ከታች ተጭኗል ፣ እና ሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ ሽቦዎች ከላይ እና ከታች ባለው ሽፋን ክፍል ውስጥ ተጭነዋል ። የሽብል መስመር እንቅስቃሴን ለመስራት የአርክ ብርሃን ኤሌክትሮን ከላይ ወደ ታች ይፈስሳል።

2. የትንሽ ክብ ካቶድ ቅስት ምንጭ ቋሚ ማግኔት እና ኤሌክትሮማግኔቲክ ቁጥጥር

የኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያው በዒላማው ዙሪያ ላይ የሚሽከረከር እንቅስቃሴን ለማድረግ የአርክ ቦታን ያፋጥናል ፣ ይህም በዒላማው ወለል ላይ ያለውን የአርክ ቦታ የመቆየት ጊዜን ይቀንሳል ፣ የቀለጠውን ገንዳ አካባቢ ይቀንሳል እና የፊልም ንብርብር አደረጃጀትን ያሻሽላል።

3.Dual ኤሌክትሮማግኔቲክ ቁጥጥር ካቶዲክ አርክ ምንጭ

የካቶዲክ አርክ ምንጭ በሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ ጥምሮች የተገጠመለት ሲሆን ይህም የኤሌክትሮን ፍሰት የመዞሪያ ፍጥነትን ያሻሽላል እና የፊልም ንብርብር አደረጃጀትን ያስተካክላል.

4.ማግኔትሮን ሳይክሎሮን PECVD

ኤሌክትሮኖች እንዲሽከረከሩ ለማድረግ ከዲሲ ፒሲቪዲ ሽፋን ክፍል ውጭ ሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያዎች ተጭነዋል ፣ ይህም በኤሌክትሮኖች እና በጋዝ መካከል የመጋጨት እድልን ይጨምራል ፣ እና በፊልም ንብርብር ውስጥ ያሉትን ቅንጣቶች የመከፋፈል ፍጥነት ያሻሽላል።

5.ECR ማይክሮዌቭ PECVD

ከተጫነው ውጭ ባለው ሽፋን ክፍል ውስጥ የላይኛው እና የታችኛው በሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያዎች ፣ የመለያየት ፍጥነትን ሊያሻሽል ይችላል።

6.Arc ብርሃን መፍሰስ PECVD

በላይኛው እና በታችኛው የኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያዎች ላይ ባለው የፔሲቪዲ መሳሪያ ሽፋን ክፍል ውስጥ የአልማዝ ፊልም አቀማመጥ ፣ የሃይድሮካርቦኖች ጋዝ ionization እንዲጨምር የ coaxial የኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ ሊሽከረከር ይችላል ።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ