1. Hol katode-ioonbedekkingsmasjien en warmdraadboog-ioonbedekkingsmasjien
Die hol katodegeweer en warmdraadbooggeweer word bo-aan die bedekkingskamer geïnstalleer, die anode word onderaan geïnstalleer, en twee elektromagnetiese spoele word bo- en onderaan die omtrek van die bedekkingskamer geïnstalleer. Die booglig se elektrone vloei van bo na onder om 'n spiraalvormige lynbeweging te doen.
2. Permanente magneet plus elektromagnetiese beheer van die klein sirkelvormige katodeboogbron
Die elektromagnetiese spoel versnel die boogvlek om roterende beweging in die omtrek van die teiken uit te voer, wat die verblyftyd van die boogvlek op die teikenoppervlak verminder, die area van die gesmelte poel verminder en die organisasie van die filmlaag verfyn.
3. Dubbele elektromagnetiese beheerde katodiese boogbron
Die katodiese boogbron is toegerus met twee elektromagnetiese spoele, wat die rotasiespoed van elektronvloei verbeter en die organisasie van die filmlaag verfyn.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Twee elektromagnetiese spoele word buite die DC PECVD-bedekkingskamer geïnstalleer om die elektrone te laat roteer, wat die waarskynlikheid van botsing tussen die elektrone en die gas verhoog, en die dissosiasietempo van die deeltjies in die filmlaag verbeter.
5.ECR Mikrogolf PECVD
In die bedekkingskamer buite die geïnstalleerde boonste en onderste met twee elektromagnetiese spoele, kan die dissosiasietempo verbeter word.
6. Boogligontlading PECVD
In die boogontladings-PECVD-toerusting se bedekkingskamer rondom die boonste en onderste installasie van twee elektromagnetiese spoele, waar diamantfilm neergelê word, kan die koaksiale elektromagnetiese veld geroteer word deur die boogelektronvloei om die gasionisasie van koolwaterstowwe te stimuleer.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 24 Okt-2023