Ilana ti bollow cathode ion ti a bo jẹ bi atẹle:
1, Fi Chin ingots sinu iṣubu.
2, Iṣagbesori awọn workpiece.
3, Lẹhin ti evacuating to 5 × 10-3Pa, argon gaasi ti wa ni a ṣe sinu awọn ti a bo iyẹwu lati fadaka tube, ati awọn igbale ipele jẹ ni ayika 100Pa.
4, Tan agbara abosi.
5, Lẹhin titan lori awọn aaki agbara lati ignite awọn ṣofo cathode yosita.The alábá yosita ti wa ni ti ipilẹṣẹ ninu awọn bọtini tube, Isejade foliteji ni 800 ~ 1000V, The aaki-igbega lọwọlọwọ jẹ 30 ~ 50A.Due si awọn ṣofo cathode ipa ti alábá yosita, Ga alábá yosita ti isiyi iwuwo ti awọn tuberati ogiri iwuwo ni fadaka ti o ga julọ. vantage tube, Ṣe awọn tube odi nyara gbona soke si awọn itujade ti itanna sisan, awọn yosita mode lati alábá yosita ayipada lojiji to aaki yosita, Voltage ni 40 ~ 70V, Lọwọlọwọ jẹ 80 ~ 300A.Silver tube otutu Gigun loke 2300K, Ohu, Emits a ga iwuwo ati elekitironi ṣiṣan ti a tube anorcde ṣiṣan.
6, Atunṣe ti igbale level.The igbale ipele fun alábá yosita lati ṣofo cathode ibon jẹ nipa 100 Pa,Ati awọn igbale ìyí ti a bo jẹ 8×10-1 ~ 2Pa.Nitorina, Lẹhin iginisonu ti awọn aaki yosita, Din ti nwọle argon gaasi bi ni kete bi o ti ṣee, Ṣatunṣe awọn ipele igbale fun igbale ipele.
7,Titanium palara mimọ Layer.Electron sisan pẹlẹpẹlẹ awọn anodically pale Chin irin ingot,Iyipada ti kainetik agbara si gbona agbara,Evaporation ti Chin irin nipa alapapo,Vapor awọn ọta de workpiece lati fẹlẹfẹlẹ kan ti titanium fiimu.
8, Deposition of TiN.Nitrogen gaasi ti wa ni pese si awọn ti a bo iyẹwu, Nitrogen gaasi ati evaporated awọn ọta ti wa ni ionized sinu nitrogen ati titanium ions.Above awọn crucible,Ti o ga iṣeeṣe ti inelastic collisions ti titanium oru awọn ọta pẹlu ipon ṣiṣan ti kekere-agbara elekitironi, Awọn oṣuwọn jẹ ga irin elekitironi. 20% ~ 40%, Titanium ions ni o wa siwaju sii seese lati fesi chemically pẹlu awọn lenu gaasi nitrogen, Deposition lati gba a nitride mantle film Layer.The ṣofo cathode ibon ni mejeji a vaporization orisun, Miran orisun ti ionization.Nigba ti a bo, Awọn ti isiyi ti itanna okun ni ayika crucible yẹ ki o tun ti wa ni titunse, Fojusi awọn ile-iṣan ti awọn elekitironi ti awọn elekitironi ti be be be lo. ti wa ni pọ.
9, Power Off.After awọn fiimu sisanra Gigun awọn predetermined film sisanra,Pa aaki ipese agbara, Irẹwẹsi ipese agbara ati air ipese.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-08-2023