Indium tin oxide (Indium Tin Oxide, tọka si bi ITO) ni kan jakejado band aafo, darale doped n-Iru semikondokito ohun elo, pẹlu ga han ina transmittance ati kekere resistivity abuda, ati bayi o gbajumo ni lilo ninu oorun ẹyin, alapin nronu àpapọ, electrochromic windows, inorganic ati Organic tinrin-film electroluminescence, lesa diodets ati be be lo awọn ẹrọ miiran. ti igbaradi ti awọn fiimu ITO, pẹlu ifasilẹ laser pulsed, sputtering, ifasilẹ ọru kemikali, jijẹ jijẹ gbona, sol-gel, evaporation, bbl Lara ọna evaporation, eyiti o wọpọ julọ lo jẹ evaporation elekitironi.
Awọn ọna pupọ lo wa lati ṣeto fiimu ITO, pẹlu itọsi laser pulsed, sputtering, ifasilẹ ọru kemikali, pyrolysis sokiri, sol-gel, evaporation ati bẹbẹ lọ, eyiti ọna gbigbe ti o wọpọ julọ ti a lo jẹ evaporation elekitironi. Igbaradi evaporation ti awọn fiimu ITO nigbagbogbo ni awọn ọna meji: ọkan ni lilo ti mimọ-giga Ni, Sn alloy bi ohun elo orisun, ninu afẹfẹ atẹgun fun imukuro ifasẹ; awọn keji ni awọn lilo ti ga-mimọ In2O3:, SnO2 adalu bi awọn orisun ohun elo fun taara evaporation. Lati ṣe fiimu naa pẹlu gbigbe giga ati atako kekere, gbogbogbo nilo iwọn otutu sobusitireti ti o ga julọ tabi iwulo fun annealing atẹle ti fiimu naa. HR Fallah et al. lo ọna evaporation elekitironi ni awọn iwọn otutu kekere lati fi awọn fiimu tinrin ITO silẹ, lati ṣe iwadi ipa ti oṣuwọn ifisilẹ, iwọn otutu annealing ati awọn ilana ilana miiran lori eto ti fiimu naa, itanna ati awọn ohun-ini opiti. Wọn tọka si pe idinku oṣuwọn ifisilẹ le ṣe alekun gbigbe ati dinku resistance ti awọn fiimu ti o dagba ni iwọn otutu kekere. Gbigbe ina ti o han jẹ diẹ sii ju 92%, ati resistivity jẹ 7X10-4Ωcm. nwọn si annealed awọn ITO fiimu po ni yara otutu ni 350 ~ 550 ℃, ati ki o ri pe awọn ti o ga awọn annealing otutu ni, awọn dara awọn kirisita ini ti ITO fiimu. Gbigbe ina ti o han ti awọn fiimu lẹhin annealing ni 550 ℃ jẹ 93%, ati iwọn ọkà jẹ nipa 37nm. ọna iranlọwọ pilasima tun le dinku iwọn otutu ti sobusitireti lakoko iṣelọpọ fiimu, eyiti o jẹ ifosiwewe pataki julọ ninu iṣelọpọ fiimu naa, ati crystallinity tun jẹ pataki julọ. Ọna iranlọwọ-pilasima tun le dinku iwọn otutu sobusitireti lakoko iṣelọpọ fiimu, ati fiimu ITO ti a gba lati ibi-ipamọ ni iṣẹ ṣiṣe to dara. resistivity ti fiimu ITO ti a pese sile nipasẹ S. Laux et al. jẹ kekere pupọ, 5 * 10-"Ωcm, ati gbigba ti ina ni 550nm jẹ kere ju 5%, ati pe resistivity ti fiimu naa ati bandiwidi opitika tun yipada nipasẹ yiyipada titẹ atẹgun lakoko igbasilẹ.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-23-2024