יאָן קאָוטינגמאַשין שטאמט פון דער טעאריע פארגעשלאגן דורך ד.מ. מאטאקס אין די 1960ער יארן, און קארעספאנדירנדע עקספערימענטן האבן זיך אנגעהויבן אין יענער צייט; ביז 1971, האבן טשעמבערס און אנדערע ארויסגעגעבן די טעכנאלאגיע פון עלעקטראן שטראל יאן פּלייטינג; די רעאקטיווע פארדאמפונג פּלייטינג (ARE) טעכנאלאגיע איז ארויסגעוויזן געווארן אין דעם בונשאה באריכט אין 1972, ווען סופער-הארט פילם טיפן ווי TiC און TiN זענען פראדוצירט געווארן; אויך אין 1972, האבן סמיט און מאלי אנגענומען די האלע קאטאד טעכנאלאגיע אין דעם קאָוטינג פראצעס. ביז די 1980ער יארן, האט די יאן פּלייטינג אין כינע ענדליך דערגרייכט דעם לעוועל פון אינדוסטריעלער אנווענדונג, און די קאָוטינג פראצעסן ווי וואקיום מולטי-ארק יאן פּלייטינג און ארק-דיסטשאַרדזש יאן פּלייטינג זענען ארויסגעקומען נאכאנאנד.
דער גאנצער ארבעטס פראצעס פון וואקיום יאָן פּלייטינג איז ווי פאלגט: ערשטנס,פּאָמפּעדי וואַקוום קאַמער, און דערנאָךוואַרטןדער וואַקוום דרוק צו 4X10 ⁻³ פּאַאדער בעסער, עס איז נויטיק צו פארבינדן די הויך-וואולטידזש מאכט צושטעל און בויען א נידריג-טעמפעראטור פלאזמע געגנט פון נידריג-וואולטידזש אויסלאדונג גאז צווישן דעם סובסטראט און דעם פארדאמפער. פארבינדט דעם סובסטראט עלעקטראד מיט 5000V DC נעגאטיווע הויך-וואולטידזש צו שאפן א גלאָו אויסלאדונג פון דער קאטאָדע. אינערטע גאז יאנען ווערן געשאפן לעבן דעם נעגאטיווען גלאָו געגנט. זיי גייען אריין אין דער קאטאָדע טונקעלער געגנט און ווערן פארשנעלערט דורך דעם עלעקטרישן פעלד און באמבארדירן די ייבערפלאך פון דעם סובסטראט. דאס איז א רייניקונג פראצעס, און דערנאך גייען זיי אריין אין דעם באדעקן פראצעס. דורך דעם עפעקט פון באמבארדירונג הייצונג, ווערן געוויסע באדעקן מאטעריאלן פארדאמפט. דער פלאזמע געגנט גייט אריין אין די פראטאנען, קאלידירט מיט עלעקטראנען און אינערטע גאז יאנען, און א קליין טייל פון זיי ווערט יאניזירט. די יאניזירטע יאנען מיט הויכער ענערגיע וועלן באמבארדירן די פילם ייבערפלאך און פארבעסערן די פילם קוואליטעט צו א געוויסן גראד.
דער פּרינציפּ פֿון וואַקוום יאָן פּלייטינג איז: אין דער וואַקוום קאַמער, ניצנדיק דעם גאַז אָפּזאָגן דערשיינונג אָדער דעם יאָניזירטן טייל פֿון דעם פֿאַרדאַמפּטן מאַטעריאַל, אונטער דער באָמבאַרדירונג פֿון די פֿאַרדאַמפּטע מאַטעריאַל יאָנען אָדער גאַז יאָנען, גלייכצייטיג אַוועקלייגן די פֿאַרדאַמפּטע סאַבסטאַנסן אָדער זייערע רעאַקטאַנטן אויף דעם סאַבסטראַט צו באַקומען אַ דין פֿילם. די יאָן קאָוטינגמאַשיןקאָמבינירט וואַקוום פֿאַרדאַמפּונג, פּלאַזמע טעכנאָלאָגיע און גאַז גלאָו דיסטשאַרדזש, וואָס ניט בלויז פֿאַרבעסערט די פילם קוואַליטעט, אָבער אויך יקספּאַנדז די אַפּלאַקיישאַן קייט פון די פילם. די אַדוואַנידזשיז פון דעם פּראָצעס זענען שטאַרק דיפראַקשאַן, גוטע פילם אַדכיזשאַן, און פאַרשידן קאָוטינג מאַטעריאַלס. דער פּרינציפּ פון יאָן פּלייטינג איז ערשטער פארגעשטעלט דורך DM Mattox. עס זענען פילע מינים פון יאָן פּלייטינג. די מערסט פּראָסט טיפּ איז פֿאַרדאַמפּונג הייצונג, אַרייַנגערעכנט קעגנשטעל הייצונג, עלעקטראָן שטראַל הייצונג, פּלאַזמע עלעקטראָן שטראַל הייצונג, הויך-פרעקווענץ ינדוקציע הייצונג און אנדערע הייצונג מעטהאָדס.
פּאָסט צייט: 14טן פעברואַר 2023